ການຈັດປະເພດອຸປະກອນການເຄືອບສູນຍາກາດແມ່ນຫຍັງ?

ເຕັກໂນໂລຍີການເຄືອບສູນຍາກາດແມ່ນເຕັກໂນໂລຢີທີ່ຝາກວັດສະດຸແຜ່ນບາງໆໃສ່ພື້ນຜິວຂອງວັດສະດຸຍ່ອຍພາຍໃຕ້ສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດ, ເຊິ່ງຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນເອເລັກໂຕຣນິກ, optics, ການຫຸ້ມຫໍ່, ການຕົບແຕ່ງແລະຂົງເຂດອື່ນໆ. ອຸປະກອນເຄືອບສູນຍາກາດສ່ວນໃຫຍ່ສາມາດແບ່ງອອກເປັນປະເພດດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້:

1. ອຸປະກອນການເຄືອບການລະເຫີຍຄວາມຮ້ອນ: ນີ້ແມ່ນວິທີການເຄືອບສູນຍາກາດແບບດັ້ງເດີມທີ່ສຸດ, ໂດຍການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນຂອງວັດສະດຸຟິມບາງໆໃນເຮືອ evaporation, ວັດສະດຸແມ່ນ evaporated ແລະຝາກໃສ່ຫນ້າດິນຂອງວັດສະດຸ substrate.
2. ອຸປະກອນການເຄືອບ sputtering: ການນໍາໃຊ້ ion ພະລັງງານສູງທີ່ຈະມົນຕີພື້ນຜິວຂອງວັດສະດຸເປົ້າຫມາຍ, ປະລໍາມະນູອຸປະກອນເປົ້າຫມາຍແມ່ນ sputtered ແລະຝາກກັບວັດສະດຸ substrate. Magnetron sputtering ສາມາດໄດ້ຮັບຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຮູບເງົາທີ່ເປັນເອກະພາບແລະແຂງແຮງກວ່າ, ເຫມາະສົມສໍາລັບການຜະລິດມະຫາຊົນ.
3.Ion beam ອຸ ປະ ກອນ deposition: beams ion ໄດ້ ຖືກ ນໍາ ໃຊ້ ເພື່ອ ຝາກ ອຸ ປະ ກອນ ຮູບ ເງົາ ບາງໆ ໃສ່ substrate ໄດ້. ວິທີການນີ້ສາມາດໄດ້ຮັບຮູບເງົາທີ່ເປັນເອກະພາບຫຼາຍແລະເຫມາະສົມສໍາລັບບາງຄັ້ງທີ່ມີຄວາມຕ້ອງການຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ, ແຕ່ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍອຸປະກອນແມ່ນສູງ.
4. ອຸປະກອນການລະບາຍອາຍພິດທາງເຄມີ (CVD) : ປະກອບເປັນແຜ່ນບາງໆຢູ່ເທິງພື້ນຜິວຂອງວັດສະດຸຍ່ອຍໂດຍຜ່ານປະຕິກິລິຍາເຄມີ. ວິທີການນີ້ສາມາດກະກຽມຮູບເງົາທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ, ຫຼາຍຊະນິດ, ແຕ່ອຸປະກອນແມ່ນສະລັບສັບຊ້ອນແລະຄ່າໃຊ້ຈ່າຍ.
5. ອຸປະກອນ Molecular Beam Epitaxy (MBE) : ນີ້ແມ່ນວິທີການຄວບຄຸມການຂະຫຍາຍຕົວຂອງຮູບເງົາບາງໆໃນລະດັບປະລໍາມະນູແລະຖືກນໍາໃຊ້ຕົ້ນຕໍສໍາລັບການກະກຽມຊັ້ນ ultra-thin ແລະໂຄງສ້າງ multilayer ສໍາລັບ semiconductor ແລະ nanotechnology.
6. plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) ອຸປະກອນ: ນີ້ແມ່ນເຕັກນິກທີ່ໃຊ້ plasma ເພື່ອເສີມຂະຫຍາຍການຝາກຂອງຮູບເງົາບາງໆໂດຍການປະຕິກິລິຢາເຄມີ, ຊ່ວຍໃຫ້ການສ້າງຮູບເງົາບາງໆຢ່າງໄວວາໃນອຸນຫະພູມຕ່ໍາ.
7. Pulsed Laser Deposition (PLD) ອຸປະກອນ: ເຫຼົ່ານີ້ໃຊ້ laser pulses ພະລັງງານສູງເພື່ອໂຈມຕີເປົ້າຫມາຍ, evaporate ວັດສະດຸຈາກຫນ້າດິນເປົ້າຫມາຍແລະຝາກມັນໃສ່ substrate, ແລະແມ່ນເຫມາະສົມສໍາລັບການຂະຫຍາຍຕົວຮູບເງົາ oxide ສູງ, ສະລັບສັບຊ້ອນ.
ແຕ່ລະອຸປະກອນເຫຼົ່ານີ້ມີລັກສະນະຂອງຕົນເອງໃນການອອກແບບແລະການດໍາເນີນງານແລະເຫມາະສົມສໍາລັບການນໍາໃຊ້ອຸດສາຫະກໍາທີ່ແຕກຕ່າງກັນແລະຂົງເຂດການຄົ້ນຄວ້າ. ດ້ວຍການພັດທະນາຂອງເຕັກໂນໂລຢີ, ເຕັກໂນໂລຢີການເຄືອບສູນຍາກາດຍັງກ້າວຫນ້າ, ແລະອຸປະກອນການເຄືອບສູນຍາກາດໃຫມ່ກໍ່ເກີດຂື້ນ.

- ບົດ​ຄວາມ​ນີ້​ໄດ້​ຖືກ​ປ່ອຍ​ອອກ​ມາ​ຈາກ​ເຄື່ອງເຄືອບສູນຍາກາດຜູ້ຜະລິດ Guangdong Zhenhua