Вакуумдук каптоо технологиясы электроникада, оптикада, таңгактоодо, жасалгалоодо жана башка тармактарда кеңири колдонулган вакуумдук чөйрөдө субстраттык материалдардын бетине жука пленкалуу материалдарды түшүрүүчү технология. Вакуумдук каптоо жабдуулары негизинен төмөнкү түрлөргө бөлүнөт:
1. Термикалык буулантуу каптоо жабдуулары: бул эң салттуу вакуумдук каптоо ыкмасы, буулантуучу кайыкта жука пленканы жылытуу жолу менен материал бууланып, субстраттык материалдын бетине жайгаштырылат.
2. Чачуучу каптоо жабдуулары: максаттуу материалдын бетине тийүү үчүн жогорку энергиялуу иондорду колдонуу менен, максаттуу материалдын атомдору чачырап, субстрат материалына жайгаштырылат. Магнетрон чачыратуу пленканын бир калыпта жана күчтүү жабышуусун алууга жөндөмдүү, массалык өндүрүш үчүн ылайыктуу.
3.Ion нурун жайгаштыруу жабдуулары: Ион нурлары субстраттын үстүнө жука пленка материалдарын салуу үчүн колдонулат. Бул ыкма абдан бирдей пленкаларды ала алат жана жогорку тактык талаптары бар учурларда ылайыктуу, бирок жабдуулардын баасы жогору.
4. Химиялык бууларды түшүрүү (CVD) жабдуулары: Химиялык реакция аркылуу субстрат материалынын бетинде жука пленкаларды түзөт. Бул ыкма менен сапаттуу, көп түрлүү пленкаларды даярдоого болот, бирок жабдуулар татаал жана кымбат.
5. Molecular Beam Epitaxy (MBE) жабдуулары: Бул атомдук деңгээлдеги жука пленкалардын өсүшүн көзөмөлдөө ыкмасы жана негизинен жарым өткөргүч жана нанотехнологиялар үчүн өтө жука катмарларды жана көп катмарлуу структураларды даярдоо үчүн колдонулат.
6. Plasma Enhanced Chemical Fapor Deposition (PECVD) жабдуулары: Бул төмөнкү температурада жука пленкалардын тез пайда болушуна мүмкүндүк берүүчү химиялык реакция аркылуу ичке пленкалардын катмарлануусун күчөтүү үчүн плазманы колдонгон ыкма.
7. Импульстүү Лазердик Deposition (PLD) аппараттары: Булар бутага сокку уруу үчүн жогорку энергиялуу лазер импульстарын колдонушат, материалды максаттуу бетинен бууланып, аны субстратка түшүрүшөт жана жогорку сапаттагы татаал оксид пленкаларын өстүрүүгө ылайыктуу.
Бул приборлордун ар бири долбоорлоодо жана эксплуатациялоодо өзүнүн өзгөчөлүктөрүнө ээ жана ар кандай өнөр жайлык колдонмолорго жана изилдөө аймактарына ылайыктуу. Технологиянын өнүгүшү менен вакуумдук каптоо технологиясы да өнүгүп, жаңы вакуумдук каптоо жабдуулары да пайда болууда.
– Бул макаланы чыгарганвакуумдук каптоочу машинаөндүрүүчүсү Гуандун Чжэнхуа
Посттун убактысы: Jun-12-2024