Мембраналык катмардын механикалык касиеттерине адгезия, стресс, агрегациянын тыгыздыгы ж.
(1) вакуум деңгээли. Тасманын аткаруу боюнча вакуум абдан ачык көрүнүп турат. пленка катмарынын аткаруу көрсөткүчтөрүнүн көпчүлүгү вакуум деңгээлине абдан көз каранды. Адатта, вакуум даражасы жогорулаган сайын пленканын агрегациясынын тыгыздыгы көбөйөт, бекемдиги жогорулайт, пленканын структурасы жакшырат, химиялык курамы таза болот, бирок ошол эле учурда стресс да жогорулайт.
(2) Депозиттин баасы. Депозиттик ылдамдыгын жакшыртуу буулануу ылдамдыгын жогорулатуу үчүн гана колдонулушу мүмкүн эмес, башкача айтканда, буулануу булагынын температуралык мамилесин жогорулатуу, ошондой эле буулануу булагынын аянтын жогорулатуу үчүн колдонулушу мүмкүн, бирок буулануу булагын колдонуунун температурасын жогорулатуу үчүн анын кемчиликтери бар: мембраналык катмардын стрессин өтө чоң кылуу; пленка түзүүчү газ оңой ажырайт. Ошентип, кээде буулануу булагынын температурасын жакшыртууга караганда буулануу булагынын аянтын көбөйтүү жагымдуураак болот.
(3) субстрат температурасы. Субстраттын температурасын жогорулатуу, калган газ молекулаларынын субстрат бетинде адсорбцияга өбөлгө түзөт, субстрат жана депонирленген молекулалардын ортосундагы байланыштыруучу күч: ошол эле учурда физикалык адсорбциянын химиялык адсорбцияга өтүшүнө өбөлгө түзөт, молекулалар ортосундагы өз ара аракеттенүүнү күчөтөт, мембрана катмарынын түзүлүшү бекем болот. Мисалы, Mg, мембрана, субстратты 250 ~ 300 ℃ чейин жылытуу ички стрессти азайтып, агрегациянын тыгыздыгын жакшыртып, мембрана катмарынын катуулугун жогорулата алат: субстрат 120 ~ 150 ℃ чейин жылытылып, Zr03-Si02 даярдалган, көп катмарлуу мембрана, анын механикалык күчү субстраттын температурасы өтө жогорулайт, бирок субстрат катмарынын механикалык күчү абдан жогорулайт.
(4) Иондук бомбалоо. Иондук бомбалоо жогорку когезиялуу беттердин пайда болушуна, беттин тегиздигине, кычкылдануу жана агрегаттык тыгыздыкка таасирин тийгизет. каптоо алдында бомбалоо бетин тазалоо жана адгезияны жогорулатуу мүмкүн; капталгандан кийин бомбалоо пленка катмарынын агрегациясынын тыгыздыгын жакшыртат, ошону менен механикалык бекемдикти жана катуулукту жогорулатат.
(5) субстрат тазалоо. Субстратты тазалоо ыкмасы ылайыктуу эмес же таза эмес, субстраттын калдыктарында же тазалоочу агентте, андан кийин жаңы булганууну пайда кылат, ар кандай биригүү шарттарында жана адгезияда, биринчи катмардын структуралык касиеттерине жана оптикалык калыңдыгына таасир этет, ошондой эле пленка катмарын субстраттан оңой эле чечип, пленка катмарынын өзгөчөлүктөрүн өзгөртөт.
– Бул макаланы чыгарганвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа
Билдирүү убактысы: 2024-04-04