Teknolojiya pêçandina vakûmê teknolojiyek e ku materyalên fîlmên zirav li ser rûyê materyalên substratê di bin hawîrdora vakûmê de çêdike, ku bi berfirehî di elektronîk, optîk, pakkirin, xemilandin û warên din de tê bikar anîn. Amûrên pêçandina vakûmê dikarin bi giranî li celebên jêrîn werin dabeş kirin:
1. Amûrên pêçandina buharkirina germî: ev rêbaza pêçandina valûyê ya herî kevneşopî ye, bi germkirina materyalê fîlma zirav di qeyika buharkirinê de, materyal tê buharkirin û li ser rûyê materyalê substratê tê danîn.
2. Amûrên pêçandina sputterkirinê: Bi karanîna îyonên enerjiya bilind ji bo lêdana rûyê materyalê hedef, atomên materyalê hedef têne sputterkirin û li ser materyalê substratê têne danîn. Sputterkirina magnetronê dikare fîlmê yekrengtir û bihêztir bike, ku ji bo hilberîna girseyî guncan e.
3. Amûrên danîna tîrêjên îyonî: Tîrêjên îyonî ji bo danîna materyalên fîlmên tenik li ser substratê têne bikar anîn. Ev rêbaz dikare fîlmên pir yekreng bi dest bixe û ji bo bûyerên ku hewcedariyên rastbûna bilind hene guncaw e, lê lêçûna alavan zêde ye.
4. Amûrên Depozîsyona Buhara Kîmyayî (CVD): Bi rêya reaksiyoneke kîmyewî li ser rûyê materyalê substratê fîlmên tenik çêdike. Ev rêbaz dikare fîlmên pir-cureyî yên bi kalîte bilind amade bike, lê amûr tevlihev û biha ye.
5. Amûrên Epîtaksîya Tîrêjên Molekulî (MBE): Ev rêbazek e ji bo kontrolkirina mezinbûna fîlmên tenik di asta atomî de û bi giranî ji bo amadekirina tebeqeyên ultra tenik û avahiyên pirqatî ji bo sepanên nîvconductor û nanoteknolojiyê tê bikar anîn.
6. Amûrên Depozîsyona Buxara Kîmyewî ya Bi Plazmaya Zêdekirî (PECVD): Ev teknîkek e ku plazmayê bikar tîne da ku depozîsyona fîlmên tenik bi reaksiyonek kîmyewî baştir bike, ku dihêle fîlmên tenik di germahiyên nizm de bi lez çêbibin.
7. Amûrên Depozîsyona Lazerê ya Pulsasyonî (PLD): Ev amûr pulsên lazerê yên enerjiya bilind bikar tînin da ku li hedefekê bixin, materyalê ji rûyê hedefê buhar bikin û li ser substratekê bihêlin, û ji bo mezinbûna fîlmên oksîdê yên tevlihev û bi kalîte bilind guncaw in.
Her yek ji van amûran di sêwirandin û xebitandinê de xwedî taybetmendiyên xwe yên taybet e û ji bo sepanên pîşesaziyê û warên lêkolînê yên cûda guncaw e. Bi pêşkeftina teknolojiyê re, teknolojiya boyaxkirina valahiyê jî pêşve diçe, û alavên nû yên boyaxkirina valahiyê jî derdikevin holê.
- Ev gotar ji hêlamakîneya pêçandina valahiyêçêker Guangdong Zhenhua
Dema weşandinê: 12ê Hezîrana 2024an