Taybetmendiyên mekanîkî yên qata perdeyê ji hêla zeliqandin, stres, tîrbûna kombûnê û hwd ve bandor dibin. Ji têkiliya di navbera materyalê qata perdeyê û faktorên pêvajoyê de, tê dîtin ku heke em bixwazin hêza mekanîkî ya qata perdeyê baştir bikin, divê em li ser parametreyên pêvajoyê yên jêrîn bisekinin:
(1) asta valahiyê. Bandora valahiyê li ser performansa fîlmê pir eşkere ye. Piraniya nîşaneyên performansa qata fîlmê pir girêdayî asta valahiyê ne. Bi gelemperî, her ku pileya valahiyê zêde dibe, dendika kombûna fîlmê zêde dibe, hişkbûn zêde dibe, avahiya fîlmê çêtir dibe, pêkhateya kîmyewî paqij dibe, lê di heman demê de stres jî zêde dibe.
(2) Rêjeya danînê. Baştirkirina rêjeya danînê ne tenê dikare ji bo baştirkirina rêjeya buharbûnê were bikar anîn, ango bi zêdekirina germahiya çavkaniya buharbûnê, di heman demê de dikare ji bo zêdekirina qada çavkaniya buharbûnê jî were bikar anîn, lê karanîna çavkaniya buharbûnê ji bo zêdekirina germahiya vê rêbazê dezawantajên xwe hene: stresa qata parzûnê pir mezin dike; gaza fîlmçêker bi hêsanî dihele. Ji ber vê yekê carinan zêdekirina qada çavkaniya buharbûnê ji başkirina germahiya çavkaniya buharbûnê guncantir e.
(3) Germahiya substratê. Zêdekirina germahiya substratê ji bo rakirina molekulên gazê yên mayî li ser rûyê substratê, zêdekirina substratê û hêza girêdanê di navbera molekulên razandî de: di heman demê de dê veguherîna adsorpsiyona fîzîkî bo adsorpsiyona kîmyewî pêşve bibe, têkiliya di navbera molekulan de zêde bike, da ku avahiya qata perdeyê hişk be. Mînakî, germkirina substratê ya Mg heta 250 ~ 300 ℃ dikare stresa navxweyî kêm bike, dendika kombûnê baştir bike, hişkbûna qata perdeyê zêde bike: Germkirina substratê heta 120 ~ 150 ℃ Zr03-Si02, membrana pirqatî amade bike, hêza wê ya mekanîkî pir zêde dibe, lê germahiya substratê pir zêde dibe dê bibe sedema xirabûna qata perdeyê.
(4) Bombebarana îyonî. Bombebarana îyonî bandorê li ser çêbûna rûberên pir hevgirtî, hişkbûna rûberê, oksîdasyon û dendika kombûnê dike. Bombebaran berî pêçandinê dikare rûberê paqij bike û zeliqandinê zêde bike; bombebaran piştî pêçandinê dikare dendika kombûna qata fîlmê û hwd. baştir bike, bi vî awayî hêza mekanîkî û hişkbûnê zêde dike.
(5) Paqijkirina substratê. Ger rêbaza paqijkirina substratê ne guncaw be an jî paqij nebe, qirêjiyên mayî an jî paqijker di substratê de çêdibe, dibe sedema gemarîyeke nû, di şert û mercên cuda yên hevgirtinê û zeliqandinê de di pêçanê de, ku bandorê li taybetmendiyên avahîsaziyê yên qata yekem û qalindahiya optîkî dike, lê di heman demê de qata fîlmê jî bi hêsanî ji substratê vediqete, bi vî rengî taybetmendiyên qata fîlmê diguherîne.
- Ev gotar ji hêlaçêkerê makîneya boyaxkirina valahiyêGuangdong Zhenhua
Dema weşandinê: Gulan-04-2024