1. Teknolojiya danîna bi alîkariya tîrêjên îyonî bi girêdana xurt a di navbera parzûn û substratê de tê xuyang kirin, qata parzûnê pir xurt e. Ceribandin nîşan didin ku: girêdana danîna bi alîkariya tîrêjên îyonî ji girêdana danîna buxara germî çend caran heta bi sedan caran zêde bûye, sedem bi giranî ji ber bombebarana îyonan li ser rûyê bandora paqijkirinê ye, da ku navrûya bingeha parzûnê avahiyek navrûyî ya gradient, an qata veguhêz a hîbrîd çêbike, û her weha stresa parzûnê kêm bike.
2. Depozîsyona bi alîkariya tîrêjên îyonê dikare taybetmendiyên mekanîkî yên fîlmê baştir bike, temenê westandinê dirêj bike, ji bo amadekirina oksîd, karbîd, BN kubîk, TiB2, û pêçanên mîna elmasê pir guncaw e. Mînakî, di pola 1Cr18Ni9Ti ya berxwedêr a germê de, bi karanîna teknolojiya depozîsyona bi alîkariya tîrêjên îyonê ji bo mezinbûna fîlma 200nm Si3N4, ne tenê dikare derketina holê ya şikestinên westandinê li ser rûyê materyalê asteng bike, lê di heman demê de rêjeya belavbûna şikestinên westandinê jî bi girîngî kêm dike, ji bo dirêjkirina temenê wê roleke baş dilîze.
3. Depozîtasyona bi alîkariya tîrêjên îyonan dikare xwezaya stresê ya fîlmê biguherîne û avahiya wê ya krîstalî biguhere. Bo nimûne, amadekirina fîlma Cr bi bombebarana 11.5keV Xe+ an Ar+ a rûyê substratê, hat dîtin ku sererastkirina germahiya substratê, enerjiya îyonê ya bombebaranê, îyon û atoman ji bo gihîştina rêjeya parametreyan, dikare stresê ji stresa kişandinê veguherîne stresa zextê, avahiya krîstalî ya fîlmê jî dê guhertinan çêbike. Di bin rêjeyek hatina îyon-bi-atom a diyarkirî de, depozîtasyona bi alîkariya tîrêjên îyonan xwedî arasteya bijartî ya çêtir e ji qata parzûnê ya ku bi depozîtasyona buhara germî ve hatî razandin.
4. Depokirina bi alîkariya tîrêjên îyonî dikare berxwedana korozyonê û berxwedana oksîdasyonê ya parzûnê zêde bike. Ji ber tîrbûna depokirina bi alîkariya tîrêjên îyonî ya qata fîlmê, baştirbûna avahiya navrûya bingeha fîlmê an jî çêbûna rewşek amorf ji ber windabûna sînorên dendikê di navbera perçeyan de çêdibe, ku ev yek dibe sedema baştirkirina berxwedana korozyonê ya materyalê û li hember oksîdasyona germahiya bilind li ber xwe dide.
5. Depokirina bi alîkariya tîrêjên îyonî dikare taybetmendiyên elektromagnetîk ên fîlmê biguherîne û performansa fîlmên tenik ên optîkî baştir bike.
6. Depozkirina bi alîkariya iyonan rê dide sererastkirina rast û serbixwe ya parametreyên têkildarî depozkirina atomî û bicihkirina iyonan, û rê dide çêkirina pêçanên çend mîkrometreyan ên li pey hev bi pêkhateyeke domdar di enerjiyên bombebarana kêm de, da ku fîlmên tenik ên cûrbecûr dikarin di germahiya odeyê de werin mezin kirin, û ji bandorên neyînî yên li ser materyalan an perçeyên rast dûr bikevin ku dibe ku ji ber dermankirina wan di germahiyên bilind de çêbibin.
- Ev gotar ji hêlaçêkerê makîneya boyaxkirina valahiyêGuangdong Zhenhua
Dema weşandinê: 24ê rêbendana 2024an