진공 코팅 기술은 진공 환경에서 기판 소재 표면에 박막 재료를 증착하는 기술로, 전자, 광학, 패키징, 장식 등 다양한 분야에서 널리 사용되고 있습니다. 진공 코팅 장비는 주로 다음과 같은 유형으로 구분할 수 있습니다.
1. 열증발 코팅 장비: 이것은 가장 전통적인 진공 코팅 방법으로, 증발 보트에서 박막 재료를 가열하여 재료가 증발하고 기판 재료 표면에 증착됩니다.
2. 스퍼터링 코팅 장비: 고에너지 이온을 사용하여 타겟 물질 표면에 충돌시켜 타겟 물질 원자를 스퍼터링하여 기판 물질에 증착합니다. 마그네트론 스퍼터링은 더욱 균일하고 강한 박막 접착력을 얻을 수 있어 대량 생산에 적합합니다.
3. 이온 빔 증착 장비: 이온 빔은 기판 위에 박막 재료를 증착하는 데 사용됩니다. 이 방법은 매우 균일한 박막을 얻을 수 있으며, 고정밀도가 요구되는 경우에 적합하지만, 장비 비용이 높습니다.
4. 화학 기상 증착(CVD) 장비: 화학 반응을 통해 기판 소재 표면에 박막을 형성합니다. 이 방법은 고품질의 다종 박막을 제조할 수 있지만, 장비가 복잡하고 비용이 많이 듭니다.
5. 분자빔 에피택시(MBE) 장비: 이는 원자 수준에서 박막의 성장을 제어하는 방법으로, 주로 반도체 및 나노기술 응용 분야의 초박막층과 다층 구조를 제조하는 데 사용됩니다.
6. 플라즈마 강화 화학 기상 증착(PECVD) 장비: 이 기술은 플라즈마를 사용하여 화학 반응을 통해 박막의 증착을 향상시켜 낮은 온도에서 박막을 빠르게 형성할 수 있는 기술입니다.
7. 펄스 레이저 증착(PLD) 장치: 이 장치는 고에너지 레이저 펄스를 사용하여 타겟을 공격하고 타겟 표면에서 재료를 증발시켜 기판에 증착하며, 고품질의 복잡한 산화물 필름을 성장시키는 데 적합합니다.
이러한 각 장치는 설계 및 작동 측면에서 고유한 특성을 가지고 있으며, 다양한 산업 응용 분야와 연구 분야에 적합합니다. 기술의 발전과 함께 진공 코팅 기술 또한 발전하고 있으며, 새로운 진공 코팅 장비 또한 등장하고 있습니다.
–이 기사는 다음에서 발행합니다.진공 코팅기제조업체 광동 Zhenhua
게시 시간: 2024년 6월 12일