멤브레인 층의 기계적 특성은 접착력, 응력, 응집 밀도 등의 영향을 받습니다. 멤브레인 층 재료와 공정 요인 간의 관계에서 볼 수 있듯이, 멤브레인 층의 기계적 강도를 향상시키려면 다음 공정 매개변수에 중점을 두어야 합니다.
(1) 진공도. 진공도는 필름 성능에 매우 큰 영향을 미칩니다. 대부분의 필름층 성능 지표는 진공도에 크게 의존합니다. 일반적으로 진공도가 높아질수록 필름 응집 밀도가 증가하고, 경도가 높아지며, 필름 구조가 개선되고, 화학 조성이 순수해지지만, 동시에 응력도 증가합니다.
(2) 증착 속도. 증착 속도를 향상시키는 것은 증발 속도 향상, 즉 증발원 온도 증가뿐 아니라 증발원 면적 증가를 통해 달성할 수 있습니다. 하지만 증발원 온도를 높이는 방법에는 다음과 같은 단점이 있습니다. 즉, 막층 응력이 너무 커지고, 성막 가스가 쉽게 분해됩니다. 따라서 증발원 면적을 늘리는 것이 증발원 온도 개선보다 유리한 경우도 있습니다.
(3) 기판 온도. 기판 온도를 높이면 기판 표면에 남아 있는 기체 분자가 흡착되어 기판과 증착된 분자 사이의 결합력이 향상됩니다. 동시에 물리적 흡착을 화학적 흡착으로 전환하여 분자 간 상호 작용을 강화하여 막층 구조를 더욱 견고하게 만듭니다. 예를 들어, Mg 막의 경우 기판을 250~300℃로 가열하면 내부 응력이 감소하고 응집 밀도가 향상되며 막층의 경도가 높아집니다. 기판을 120~150℃로 가열하면 ZrO3-SiO2 다층막을 제조할 수 있으며, 기계적 강도는 크게 향상되지만 기판 온도가 너무 높으면 막층의 열화가 발생합니다.
(4) 이온 충격. 이온 충격은 고응력 표면 형성, 표면 거칠기, 산화 및 응집 밀도에 영향을 미칩니다. 코팅 전 이온 충격은 표면을 깨끗하게 하고 접착력을 증가시킬 수 있으며, 코팅 후 이온 충격은 피막층 응집 밀도 등을 개선하여 기계적 강도와 경도를 증가시킬 수 있습니다.
(5) 기판 세척. 기판 세척 방법이 적절하지 않거나 깨끗하지 않으면 기판에 불순물이나 세척제가 잔류하여 새로운 오염을 유발하고 코팅의 응집 조건과 접착력이 달라 첫 번째 층의 구조적 특성과 광학적 두께에 영향을 미치며, 필름층이 기판에서 쉽게 벗겨져 필름층의 특성이 변하게 됩니다.
–이 기사는 다음에서 발행합니다.진공 코팅기 제조업체광둥진화
게시 시간: 2024년 5월 4일