បច្ចេកវិទ្យា Vacuum Coating Technology គឺជាបច្ចេកវិទ្យាមួយដែលដាក់វត្ថុធាតុហ្វីលស្តើងទៅលើផ្ទៃនៃសម្ភារៈស្រទាប់ខាងក្រោមក្រោមបរិយាកាសខ្វះចន្លោះ ដែលត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងផ្នែកអេឡិចត្រូនិច អុបទិក ការវេចខ្ចប់ ការតុបតែង និងផ្នែកផ្សេងៗទៀត។ ឧបករណ៍ស្រោបដោយម៉ាស៊ីនបូមធូលីអាចបែងចែកជាចម្បងទៅជាប្រភេទដូចខាងក្រោមៈ
1. ឧបករណ៍ថ្នាំកូតរំហួតកំដៅ៖ នេះគឺជាវិធីសាស្រ្ដស្រោបដោយម៉ាស៊ីនបូមធូលីបែបប្រពៃណីបំផុត ដោយកំដៅវត្ថុធាតុហ្វីលស្តើងនៅក្នុងទូករំហួត សម្ភារៈត្រូវហួត និងដាក់លើផ្ទៃនៃសម្ភារៈស្រទាប់ខាងក្រោម។
2. ឧបករណ៍ស្រោបស្រោប៖ ដោយប្រើអ៊ីយ៉ុងថាមពលខ្ពស់ដើម្បីវាយលុកលើផ្ទៃវត្ថុធាតុគោលដៅ អាតូមវត្ថុធាតុគោលដៅត្រូវបានប្រឡាក់ និងដាក់ទៅសម្ភារៈស្រទាប់ខាងក្រោម។ Magnetron sputtering អាចទទួលបានឯកសណ្ឋាន និងភាពស្អិតរបស់ខ្សែភាពយន្តកាន់តែរឹងមាំ សមស្របសម្រាប់ការផលិតទ្រង់ទ្រាយធំ។
3.Ion beam deposition equipment: ធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងត្រូវបានប្រើដើម្បីដាក់សម្ភារៈខ្សែភាពយន្តស្តើងទៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម។ វិធីសាស្រ្តនេះអាចទទួលបានខ្សែភាពយន្តឯកសណ្ឋានខ្លាំង និងសមរម្យសម្រាប់ឱកាសដែលមានតម្រូវការជាក់លាក់ខ្ពស់ ប៉ុន្តែតម្លៃឧបករណ៍គឺខ្ពស់។
4. ឧបករណ៍បំលែងចំហាយគីមី (CVD)៖ បង្កើតជាខ្សែភាពយន្តស្តើងលើផ្ទៃនៃសម្ភារៈស្រទាប់ខាងក្រោម តាមរយៈប្រតិកម្មគីមី។ វិធីសាស្រ្តនេះអាចរៀបចំខ្សែភាពយន្តច្រើនប្រភេទដែលមានគុណភាពខ្ពស់ ប៉ុន្តែឧបករណ៍មានភាពស្មុគស្មាញ និងចំណាយច្រើន។
5. ឧបករណ៍ Molecular Beam Epitaxy (MBE)៖ នេះគឺជាវិធីសាស្ត្រគ្រប់គ្រងការលូតលាស់នៃខ្សែភាពយន្តស្តើងនៅកម្រិតអាតូម ហើយត្រូវបានប្រើជាចម្បងសម្រាប់ការរៀបចំស្រទាប់ស្តើងជ្រុល និងរចនាសម្ព័ន្ធពហុស្រទាប់សម្រាប់កម្មវិធី semiconductor និង nanotechnology។
6. ឧបករណ៍បំរែបំរួលគីមីដែលបង្កើនប្លាស្មា (PECVD)៖ នេះគឺជាបច្ចេកទេសដែលប្រើប្លាស្មាដើម្បីបង្កើនការបោះចោលនៃខ្សែភាពយន្តស្តើងដោយប្រតិកម្មគីមី ដែលអនុញ្ញាតឱ្យបង្កើតខ្សែភាពយន្តស្តើងយ៉ាងឆាប់រហ័សនៅសីតុណ្ហភាពទាប។
7. ឧបករណ៍បំប្លែងឡាស៊ែរ Pulsed (PLD)៖ ឧបករណ៍ទាំងនេះប្រើឡាស៊ែរដែលមានថាមពលខ្ពស់ដើម្បីវាយប្រហារគោលដៅ ហួតសម្ភារៈចេញពីផ្ទៃគោលដៅ ហើយដាក់វាទៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម ហើយស័ក្តិសមសម្រាប់ការរីកលូតលាស់ខ្សែភាពយន្តអុកស៊ីដស្មុគស្មាញដែលមានគុណភាពខ្ពស់។
ឧបករណ៍ទាំងនេះនីមួយៗមានលក្ខណៈផ្ទាល់ខ្លួនរបស់វាក្នុងការរចនា និងប្រតិបត្តិការ ហើយសមរម្យសម្រាប់កម្មវិធីឧស្សាហកម្ម និងតំបន់ស្រាវជ្រាវផ្សេងៗគ្នា។ ជាមួយនឹងការអភិវឌ្ឍន៍នៃបច្ចេកវិទ្យា បច្ចេកវិទ្យានៃការស្រោបដោយសុញ្ញកាសក៏កំពុងរីកចម្រើន ហើយឧបករណ៍សម្រាប់ស្រោបដោយសុញ្ញកាសថ្មីក៏កំពុងលេចចេញជារូបរាងផងដែរ។
- អត្ថបទនេះត្រូវបានចេញផ្សាយដោយម៉ាស៊ីនបូមធូលីក្រុមហ៊ុនផលិត Guangdong Zhenhua
ពេលវេលាផ្សាយ៖ មិថុនា-១២-២០២៤