Вакуумдық жабын технологиясы – электроникада, оптикада, қаптамада, безендіруде және басқа салаларда кеңінен қолданылатын вакуумдық ортада субстрат материалдарының бетіне жұқа пленкалық материалдарды тұндыратын технология. Вакуумдық жабын жабдықтарын негізінен келесі түрлерге бөлуге болады:
1. Термиялық булану жабыны: бұл вакуумды жабудың ең дәстүрлі әдісі, жұқа пленкалық материалды булану қайығында қыздыру арқылы материал буланады және субстрат материалының бетіне қойылады.
2. Бүріккіш жабын жабдығы: мақсатты материалдың бетіне соғу үшін жоғары энергиялы иондарды пайдалана отырып, мақсатты материал атомдары шашыранды және субстрат материалына түседі. Магнетронды шашырату пленканың біркелкі және күшті адгезиясын алуға қабілетті, жаппай өндіруге жарамды.
3.Иондық сәулені тұндыру жабдығы: Иондық сәулелер жұқа пленкалық материалдарды субстратқа қою үшін қолданылады. Бұл әдіс өте біркелкі пленкаларды алуға болады және жоғары дәлдік талаптары бар жағдайларға жарамды, бірақ жабдықтың құны жоғары.
4. Химиялық буларды тұндыру (CVD) жабдығы: Химиялық реакция арқылы субстрат материалының бетінде жұқа қабықшалар түзеді. Бұл әдіс жоғары сапалы, көп түрді пленкаларды дайындауға болады, бірақ жабдық күрделі және қымбат.
5. Molecular Beam Epitaxy (MBE) жабдығы: Бұл атомдық деңгейде жұқа қабықшалардың өсуін бақылау әдісі және негізінен жартылай өткізгіштер мен нанотехнологиялар үшін ультра жұқа қабаттар мен көп қабатты құрылымдарды дайындау үшін қолданылады.
6. Плазмадағы жақсартылған химиялық бу тұндыру (PECVD) жабдығы: Бұл төмен температурада жұқа қабықшалардың тез түзілуіне мүмкіндік беретін химиялық реакция арқылы жұқа қабықшалардың тұнбасын күшейту үшін плазманы пайдаланатын әдіс.
7. Импульстік лазерді тұндыру (PLD) құрылғылары: олар нысанаға соғу, материалды нысана бетінен буландыру және оны субстратқа қою үшін жоғары энергиялы лазерлік импульстарды пайдаланады және жоғары сапалы, күрделі оксидті қабықшаларды өсіруге жарамды.
Бұл құрылғылардың әрқайсысының дизайны мен пайдалануында өзіндік сипаттамалары бар және әртүрлі өнеркәсіптік қолданбалар мен зерттеу салаларына жарамды. Технологияның дамуымен вакуумдық жабын технологиясы да алға жылжуда, сонымен қатар жаңа вакуумдық жабын жабдықтары пайда болады.
– Бұл мақаланы шығарғанвакуумды жабу машинасыөндіруші Гуандун Чжэнхуа
Жіберу уақыты: 12 маусым-2024 ж