Мембраналық қабаттың механикалық қасиеттеріне адгезия, кернеу, агрегация тығыздығы және т.б. әсер етеді. Мембраналық қабат материалы мен технологиялық факторлар арасындағы байланыстан, егер мембраналық қабаттың механикалық беріктігін жақсартқымыз келсе, процестің келесі параметрлеріне назар аудару керек екенін көруге болады:
(1) вакуум деңгейі. Фильмнің қойылымындағы вакуум өте айқын. Пленка қабатының өнімділік көрсеткіштерінің көпшілігі вакуум деңгейіне өте тәуелді. Әдетте, вакуумдық дәреже ұлғайған сайын пленканың агрегация тығыздығы артады, қаттылығы артады, пленка құрылымы жақсарады, химиялық құрамы таза болады, бірақ сонымен бірге кернеу де жоғарылайды.
(2) Тұндыру жылдамдығы. Тұндыру жылдамдығын жақсарту булану жылдамдығын жақсарту үшін ғана емес, яғни булану көзінің температурасын арттыру үшін қолданыла алады, сонымен қатар қол жеткізу үшін булану көзінің ауданын арттыру үшін пайдаланылуы мүмкін, бірақ жақындаудың температурасын арттыру үшін булану көзін пайдаланудың кемшіліктері бар: мембрана қабатының кернеуі тым үлкен болуы; қабық түзетін газ оңай ыдырайды. Сондықтан кейде булану көзінің температурасын жақсартудан гөрі булану көзінің ауданын ұлғайту тиімдірек.
(3) субстрат температурасы. Субстрат температурасының жоғарылауы қалған газ молекулаларының субстрат бетінде адсорбциялануын болдырмауға, субстрат пен тұндырылған молекулалар арасындағы байланыстыру күшін арттыруға ықпал етеді: сонымен бірге физикалық адсорбцияның химиялық адсорбцияға айналуына ықпал етеді, мембрана қабатының құрылымы тығыз болуы үшін молекулалар арасындағы өзара әрекеттесуді күшейтеді. Мысалы, Mg, мембрана, субстратты 250 ~ 300 ℃ дейін қыздыру ішкі кернеуді азайтуға, агрегация тығыздығын жақсартуға, мембраналық қабаттың қаттылығын арттыруға болады: субстратты 120 ~ 150 ℃ дейін қыздыру Zr03-Si02 дайындалған, көп қабатты мембрана, оның механикалық беріктігі субстраттың температурасын айтарлықтай арттырады, бірақ субстрат қабаты тым жоғары болады.
(4) Иондық бомбалау. Ионды бомбалау жоғары жабысатын беттердің пайда болуына, беттің кедір-бұдырлығына, тотығуға және агрегация тығыздығына әсер етеді. Жабу алдында бомбалау бетті тазартып, адгезияны арттырады; жабыннан кейінгі бомбалау пленка қабатының агрегация тығыздығын және т.б. жақсартады, осылайша механикалық беріктік пен қаттылықты арттырады.
(5) Субстратты тазалау. Субстратты тазалау әдісі сәйкес емес немесе таза емес, субстратта қалдық қоспалар немесе тазалау агенті, содан кейін жаңа ластануды тудырады, әртүрлі біріктіру жағдайлары мен адгезияны жабуда, құрылымдық қасиеттері мен оптикалық қалыңдығының бірінші қабатына әсер етеді, сонымен қатар пленка қабатын субстраттан оңай түсіреді, осылайша пленка қабатының сипаттамаларын өзгертеді.
– Бұл мақаланы шығарғанвакуумды қаптау машинасының өндірушісіГуандун Чжэнхуа
Жіберу уақыты: 04 мамыр 2024 ж