1. Иондық сәуленің көмегімен тұндыру технологиясы мембрана мен субстрат арасындағы күшті адгезиямен сипатталады, мембраналық қабат өте күшті. Тәжірибе көрсеткендей: адгезияның иондық сәуленің көмегімен тұндыру жылу буының тұндыру адгезиясына қарағанда бірнеше еседен жүздеген есеге дейін өсті, себебі негізінен тазарту эффектінің бетіндегі иондық бомбалаумен байланысты, осылайша мембраналық базаның интерфейсі градиент аралық құрылымды немесе гибридті өтпелі қабатты қалыптастыруға, сондай-ақ мембрана кернеуін азайтуға мүмкіндік береді.
2. Иондық сәуленің көмегімен тұндыру пленканың механикалық қасиеттерін жақсартады, шаршау мерзімін ұзартады, оксидтерді, карбидтерді, текше BN, TiB2 және алмас тәрізді жабындарды дайындау үшін өте қолайлы. Мысалы, 1Cr18Ni9Ti ыстыққа төзімді болатта иондық сәуленің көмегімен тұндыру технологиясын қолдану арқылы 200 нм Si3N4 пленкасын өсіру материалдың бетінде шаршау сызаттарының пайда болуын тежеп қана қоймайды, сонымен қатар шаршау жарықтарының диффузия жылдамдығын айтарлықтай төмендетеді, оның қызмет ету мерзімін ұзарту үшін жақсы рөл атқарады.
3. Иондық сәуленің көмегімен тұндыру пленканың кернеу сипатын және оның кристалдық құрылымын өзгертуі мүмкін. Мысалы, 11,5кеВ Xe + немесе Ar + субстрат бетін бомбалаумен Cr пленкасын дайындау, субстрат температурасын, бомбалау иондарының энергиясын, иондар мен атомдарды параметрлердің арақатынасына жету үшін, созылу кернеуінен қысу кернеуіне дейін кернеуді жасай алатынын анықтады, пленканың кристалдық құрылымы да өзгерістер тудырады. Белгілі бір ион-атомға жету қатынасы кезінде ион сәулесінің көмегімен тұндыру термиялық бу тұндыруымен тұндырылған мембраналық қабатқа қарағанда жақсы таңдамалы бағдарға ие болады.
4.Ион сәулесінің көмегімен тұндыру мембрананың коррозияға төзімділігін және тотығуға төзімділігін арттыруы мүмкін. Пленка қабатының иондық сәуленің көмегімен тұндыру тығыздығына байланысты, пленка негізінің интерфейс құрылымы жақсарады немесе бөлшектер арасындағы түйіршік шекараларының жоғалуынан туындаған аморфты күйдің қалыптасуы, бұл материалдың коррозияға төзімділігін арттыруға және жоғары температураның тотығуына қарсы тұруға ықпал етеді.
5. Иондық сәуленің көмегімен тұндыру пленканың электромагниттік қасиеттерін өзгерте алады және оптикалық жұқа пленкалардың өнімділігін жақсартады.
6. Иондық тұндыру атомдық тұндыру мен ион имплантациясына қатысты параметрлерді дәл және тәуелсіз реттеуге мүмкіндік береді және әртүрлі жұқа қабықшаларды бөлме температурасында өсіруге болатындай етіп, материалдарға жағымсыз әсерлерді болдырмай немесе оларды жоғары температурада өңдейтін элементтерді дәл өңдеуден сақтай отырып, төмен бомбалау энергиялары кезінде дәйекті құрамы бар бірнеше микрометрлік жабындарды дәйекті генерациялауға мүмкіндік береді.
– Бұл мақаланы шығарғанвакуумды қаптау машинасының өндірушісіГуандун Чжэнхуа
Жіберу уақыты: 24 қаңтар 2024 ж