Teknologi lapisan vakum minangka teknologi sing nyimpen bahan film tipis ing permukaan bahan substrat ing lingkungan vakum, sing akeh digunakake ing elektronika, optik, kemasan, dekorasi lan lapangan liyane. Peralatan lapisan vakum bisa dipérang dadi jinis ing ngisor iki:
1. Peralatan lapisan penguapan termal: iki minangka cara lapisan vakum sing paling tradisional, kanthi dadi panas bahan film tipis ing kapal penguapan, materi kasebut nguap lan disimpen ing permukaan materi substrat.
2. Peralatan lapisan sputtering: nggunakake ion energi dhuwur kanggo mencet lumahing materi target, atom materi target sputtered lan setor menyang materi landasan. Magnetron sputtering bisa njupuk adhesion luwih seragam lan kuwat saka film, cocok kanggo produksi massal.
3.Ion Beam Deposition equipment: Ion Beam digunakake kanggo nyimpen bahan film tipis menyang landasan. Cara iki bisa njupuk film banget seragam lan cocok kanggo kesempatan karo syarat tliti dhuwur, nanging biaya peralatan dhuwur.
4. Peralatan Deposisi Uap Kimia (CVD): Mbentuk film tipis ing permukaan materi substrat liwat reaksi kimia. Cara iki bisa nyiyapake film multi-spesies sing berkualitas tinggi, nanging peralatan kasebut rumit lan larang.
5. Peralatan Molecular Beam Epitaxy (MBE): Iki minangka cara kanggo ngontrol pertumbuhan film tipis ing tingkat atom lan utamane digunakake kanggo nyiapake lapisan ultra-tipis lan struktur multilayer kanggo aplikasi semikonduktor lan nanoteknologi.
6. Peralatan Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD): Iki minangka teknik sing nggunakake plasma kanggo nambah deposisi film tipis kanthi reaksi kimia, saéngga bisa mbentuk film tipis kanthi cepet ing suhu sing luwih murah.
7. Piranti Deposisi Laser Pulsed (PLD): Iki nggunakake pulsa laser energi dhuwur kanggo nyerang target, nguap materi saka permukaan target lan nyelehake menyang substrat, lan cocok kanggo ngembangake film oksida kompleks sing berkualitas tinggi.
Saben piranti kasebut nduweni ciri dhewe ing desain lan operasi lan cocok kanggo aplikasi industri lan wilayah riset sing beda. Kanthi pangembangan teknologi, teknologi lapisan vakum uga maju, lan peralatan lapisan vakum anyar uga muncul.
– Artikel iki dirilis deningmesin vakum nutupiprodusen Guangdong Zhenhua
Wektu kirim: Jun-12-2024