Sifat-sifat mekanik lapisan membran kena pengaruh adhesion, stres, kerapatan agregasi, lan liya-liyane. Saka hubungane antarane materi lapisan membran lan faktor proses, bisa dideleng yen kita pengin nambah kekuatan mekanik lapisan membran, kita kudu fokus ing parameter proses ing ngisor iki:
(1) tingkat vakum. Vakum ing kinerja film ketok banget. Umume indikator kinerja lapisan film gumantung banget marang tingkat vakum. Biasane, nalika tingkat vakum mundhak, Kapadhetan agregasi film mundhak, firmness mundhak, struktur film wis apik, komposisi kimia dadi murni, nanging ing wektu sing padha kaku uga mundhak.
(2) Tingkat deposisi. Ngapikake tingkat deposisi ora mung bisa digunakake kanggo nambah tingkat penguapan, yaiku, nambah pendekatan suhu sumber penguapan, uga bisa digunakake kanggo nambah pendekatan area sumber penguapan kanggo entuk, nanging nggunakake sumber penguapan kanggo nambah suhu pendekatan wis drawbacks sawijining: nggawe kaku lapisan membran gedhe banget; gas film-mbentuk gampang kanggo decompose. Dadi kadhangkala nambah area sumber penguapan saka kanggo nambah suhu sumber penguapan luwih sarujuk.
(3) suhu substrat. Nambah suhu landasan kondusif kanggo adsorption ing lumahing landasan saka molekul gas isih kanggo ngilangi, nambah landasan lan pasukan naleni antarane molekul setor: ing wektu sing padha bakal ningkataké konversi adsorpsi fisik kanggo adsorpsi kimia, nambah interaksi antarane molekul, supaya struktur lapisan membran punika nyenyet. Contone, Mg, membran, dadi panas landasan kanggo 250 ~ 300 ℃ bisa ngurangi kaku internal, nambah Kapadhetan panggabungan, nambah atose saka lapisan membran: dadi panas landasan kanggo 120 ~ 150 ℃ disiapake Zr03-Si02, membran multilayer, kekuatan mechanical sawijining tambah akeh, nanging suhu landasan rusak banget bakal nimbulaké lapisan membran.
(4) Pamboman ion. Pengeboman ion duweni pengaruh ing pambentukan permukaan sing kohesif, kekasaran permukaan, oksidasi lan kerapatan agregasi. Bom sadurunge lapisan bisa ngresiki permukaan lan nambah adhesi; bombardment sawise nutupi bisa nambah Kapadhetan kumpulan lapisan film, etc., mangkono nambah kekuatan mechanical lan atose.
(5) Pembersihan substrat. Cara reresik substrat ora cocok utawa ora resik, ing impurities ampas landasan utawa agen reresik, banjur nimbulaké polusi anyar, ing lapisan saka kahanan kohesi beda lan adhesion, mengaruhi lapisan pisanan saka sifat struktural lan kekandelan optik, nanging uga nggawe lapisan film gampang teka mati saka landasan, saéngga ngganti karakteristik lapisan film.
– Artikel iki dirilis deningpabrikan mesin lapisan vakumGuangdong Zhenhua
Wektu kirim: Mei-04-2024