1.アーク光電子流の特性
アーク放電によって生成されるアークプラズマ中の電子流、イオン流、および高エネルギー中性原子の密度は、グロー放電のそれよりもはるかに高い。コーティング空間には、より多くのガスイオンと金属イオンがイオン化され、高エネルギー原子が励起され、さまざまな活性基が存在し、コーティングプロセスの加熱、洗浄、およびコーティング段階で重要な役割を果たしている。アーク電子流の作用形態はイオンビームとは異なり、すべてが「ビーム」に収束するのではなく、ほとんどが発散状態にあるため、アーク電子流と呼ばれる。アーク電子は陽極に向かって流れるため、アーク電子流はアーク電源の正極が接続されている場所に向けられ、陽極はワークピース、補助陽極、るつぼなどである。
2.アーク電子流を生成する方法
（１）ガス源はアーク電子流を発生させる。中空陰極アーク放電と熱線アーク放電のアーク電流は約２００Ａに達し、アーク電圧は５０〜７０Ａである。
（２）固体源がアーク電子流を発生させる：陰極アーク源、小型アーク源、円筒形アーク源、長方形平面大型アーク源など。各陰極アーク源放電のアーク電流は８０〜２００Ａ、アーク電圧は１８〜２５Ａである。
2種類のアーク放電プラズマにおける高密度かつ低エネルギーのアーク電子流は、ガス原子や金属膜原子との激しい衝突電離を引き起こし、より多くのガスイオン、金属イオン、および様々な高エネルギー活性原子や基を得ることで、膜層イオンの全体的な活性を向上させることができる。
–この記事は広東振華によって公開されました。真空コーティング機メーカー
投稿日時：2023年5月31日