1.Eigenschaften des Lichtbogen-Elektronenflusses
Die Dichte des Elektronenflusses, des Ionenflusses und der hochenergetischen neutralen Atome in einem durch eine Bogenentladung erzeugten Lichtbogenplasma ist viel höher als die einer Glimmentladung.Es gibt mehr Gasionen und Metallionen, ionisierte, angeregte hochenergetische Atome und verschiedene aktive Gruppen im Beschichtungsraum, die eine wichtige Rolle in den Heiz-, Reinigungs- und Beschichtungsphasen des Beschichtungsprozesses spielen.Die Wirkungsform des Bogenelektronenflusses unterscheidet sich von der des Ionenstrahls, da nicht alle zu einem „Strahl“ konvergieren, sondern meist in einem divergenten Zustand vorliegen, daher wird dies als Bogenelektronenfluss bezeichnet.Da die Lichtbogenelektronen zur Anode fließen, wird der Lichtbogenelektronenfluss dorthin geleitet, wo die positive Elektrode der Lichtbogenstromversorgung angeschlossen ist, und die Anode kann ein Werkstück, eine Hilfsanode, ein Tiegel usw. sein.
2. Methode zur Erzeugung eines Lichtbogenelektronenflusses
(1) Die Gasquelle erzeugt einen Lichtbogenelektronenfluss: Der Lichtbogenstrom der Hohlkathoden-Bogenentladung und der Heißdraht-Bogenentladung kann etwa 200 A erreichen, und die Lichtbogenspannung beträgt 50–70 V.
(2) Eine feste Quelle erzeugt einen Bogenelektronenfluss: Kathodenbogenquelle, einschließlich kleiner Bogenquelle, zylindrischer Bogenquelle, großer Bogenquelle mit rechteckiger Ebene usw. Der Bogenstrom jeder Kathodenbogenquellenentladung beträgt 80–200 A und die Bogenspannung beträgt 18-25V.
Der hochdichte und energiearme Bogenelektronenfluss in zwei Arten von Bogenentladungsplasmen kann eine intensive Kollisionsionisation mit Gas- und Metallfilmatomen erzeugen, wodurch mehr Gasionen, Metallionen und verschiedene hochenergetische aktive Atome und Gruppen erhalten und dadurch verbessert werden die Gesamtaktivität der Filmschichtionen.
–Dieser Artikel wurde von Guangdong Zhenhua, aHersteller von Vakuumbeschichtungsmaschinen
Zeitpunkt der Veröffentlichung: 31. Mai 2023