1. Charakteristika des Elektronenflusses in Bogenlicht.
Die Dichte des Elektronen- und Ionenflusses sowie der hochenergetischen neutralen Atome im durch Lichtbogenentladung erzeugten Plasma ist deutlich höher als bei einer Glimmentladung. Im Beschichtungsraum befinden sich mehr ionisierte Gas- und Metallionen, angeregte hochenergetische Atome und verschiedene aktive Gruppen, die eine wichtige Rolle bei den Heiz-, Reinigungs- und Beschichtungsphasen des Beschichtungsprozesses spielen. Die Wirkungsweise des Lichtbogenelektronenflusses unterscheidet sich von der eines Ionenstrahls; die Elektronen bündeln sich nicht vollständig zu einem Strahl, sondern sind größtenteils divergent. Daher spricht man von Lichtbogenelektronenfluss. Da die Lichtbogenelektronen zur Anode fließen, ist der Lichtbogenelektronenfluss überall dort gerichtet, wo die positive Elektrode der Lichtbogenstromquelle angeschlossen ist. Die Anode kann beispielsweise ein Werkstück, eine Hilfsanode oder ein Tiegel sein.
2. Verfahren zur Erzeugung eines Lichtbogenelektronenflusses
(1) Die Gasquelle erzeugt einen Lichtbogen-Elektronenfluss: Der Lichtbogenstrom der Hohlkathoden- und der Glühdraht-Lichtbogenentladung kann etwa 200 A erreichen, und die Lichtbogenspannung beträgt 50-70 V.
(2) Festkörperquellen erzeugen einen Lichtbogenelektronenfluss: Kathodenbogenquellen, einschließlich kleiner Lichtbogenquellen, zylindrischer Lichtbogenquellen, rechteckiger ebener großer Lichtbogenquellen usw. Der Lichtbogenstrom jeder Kathodenbogenquellenentladung beträgt 80-200 A und die Lichtbogenspannung 18-25 V.
Der Elektronenfluss im Lichtbogen mit hoher Dichte und niedriger Energie in zwei Arten von Lichtbogenentladungsplasmen kann eine intensive Stoßionisation mit Gas- und Metallfilmatomen erzeugen, wodurch mehr Gasionen, Metallionen und verschiedene hochenergetische aktive Atome und Gruppen gewonnen werden, wodurch die Gesamtaktivität der Filmschichtionen verbessert wird.
–Dieser Artikel wurde von Guangdong Zhenhua veröffentlicht.Hersteller von Vakuumbeschichtungsmaschinen
Veröffentlichungsdatum: 31. Mai 2023