1. Karakteristikk av lysbuelys elektronstrøm
Tettheten av elektronstrøm, ionestrøm og nøytrale atomer med høy energi i lysbueplasma generert av lysbueutladning er mye høyere enn for glødeutladning.Det er flere gassioner og metallioner ioniserte, eksiterte høyenergiatomer og ulike aktive grupper i belegningsrommet, som spiller en viktig rolle i oppvarmings-, rengjørings- og belegningsstadiene i belegningsprosessen.Handlingsformen for bueelektronstrøm er forskjellig fra ionestrålen, som ikke alle konvergerer til en "stråle", men for det meste i en divergerende tilstand, så det kalles bueelektronstrøm.Fordi lysbueelektroner strømmer mot anoden, rettes lysbueelektronstrømmen dit den positive elektroden til lysbuestrømforsyningen er koblet til, og anoden kan være et arbeidsstykke, hjelpeanode, digel osv.
2. Metode for å generere lysbueelektronstrøm
(1) Gasskilden genererer lysbueelektronstrøm: buestrømmen til hul katodebueutladning og varmtrådbueutladning kan nå omtrent 200A, og buespenningen er 50-70V.
(2) Solid kilde genererer lysbueelektronstrøm: katodebuekilde, inkludert liten buekilde, sylindrisk buekilde, rektangulært plan stor buekilde osv. Buestrømmen til hver katodebuekildeutladning er 80-200A, og buespenningen er 18-25V.
Lysbueelektronstrømmen med høy tetthet og lavenergi i to typer lysbueutladningsplasmaer kan generere intens kollisjonionisering med gass- og metallfilmatomer, og oppnå flere gassioner, metallioner og forskjellige høyenergiaktive atomer og grupper, og dermed forbedre den totale aktiviteten til filmlagionene.
–Denne artikkelen ble utgitt av Guangdong Zhenhua, aprodusenten av vakuumbeleggmaskiner
Innleggstid: 31. mai 2023