מאפיינים ושיטות יצירה של זרימת אלקטרונים קשת

1. מאפיינים של זרימת אלקטרונים של אור קשת

הצפיפות של זרימת אלקטרונים, זרימת יונים ואטומים ניטרליים בעלי אנרגיה גבוהה בפלזמה של קשת שנוצרת על ידי פריקת קשת גבוהה בהרבה מזו של פריקת זוהר.בחלל הציפוי יש יותר יוני גזים ויוני מתכת מיוננים, נרגשים בעלי אנרגיה גבוהה וקבוצות פעילות שונות, הממלאות תפקיד חשוב בשלבי החימום, הניקוי והציפוי של תהליך הציפוי.צורת הפעולה של זרימת אלקטרונים בקשת שונה מזו של אלומת יונים, שלא כולן מתכנסות ל"קרן", אלא בעיקר במצב מתפצל, ולכן היא נקראת זרימת אלקטרונים קשת.מכיוון שאלקטרוני קשת זורמים לכיוון האנודה, זרימת האלקטרונים בקשת מופנית לכל מקום שבו מחוברת האלקטרודה החיובית של ספק כוח הקשת, והאנודה יכולה להיות חומר עבודה, אנודה עזר, כור היתוך וכו'.

2.שיטה להפקת זרימת אלקטרונים בקשת

(1) מקור הגז מייצר זרימת אלקטרונים בקשת: זרם הקשת של פריקת קשת קתודה חלולה ופריקת קשת חוט חם יכול להגיע לכ-200A, ומתח הקשת הוא 50-70V.

(2) מקור מוצק יוצר זרימת אלקטרונים בקשת: מקור קשת קתודה, כולל מקור קשת קטן, מקור קשת גלילי, מקור קשת גדול במישור מלבני וכו'. זרם הקשת של כל פריקת מקור קשת קתודה הוא 80-200A, ומתח הקשת הוא 18-25V.

זרימת אלקטרונים קשת בצפיפות גבוהה ובאנרגיה נמוכה בשני סוגים של פלזמות פריקת קשת יכולה ליצור יינון התנגשות אינטנסיבי עם גז ואטומי סרט מתכת, להשיג יותר יוני גזים, יוני מתכת ואטומים וקבוצות פעילים באנרגיה גבוהה, ובכך לשפר הפעילות הכוללת של יוני שכבת הסרט.

-מאמר זה שוחרר על ידי גואנגדונג ז'נהואה, איצרן מכונות ציפוי ואקום