ยินดีต้อนรับสู่บริษัท กวางตุ้ง เจิ้นฮวา เทคโนโลยี จำกัด
แบนเนอร์เดี่ยว

ลักษณะและวิธีการสร้างการไหลของอิเล็กตรอนอาร์ค

ที่มาของบทความ: Zhenhua vacuum
อ่าน:10
เผยแพร่เมื่อ: 23-05-31

1.ลักษณะเฉพาะของการไหลของอิเล็กตรอนในแสงอาร์ค

ความหนาแน่นของการไหลของอิเล็กตรอน การไหลของไอออน และอะตอมกลางพลังงานสูงในพลาสมาอาร์คที่เกิดจากการปล่อยประจุอาร์คนั้นสูงกว่าการปล่อยประจุเรืองแสงมาก มีไอออนของก๊าซและไอออนของโลหะที่แตกตัวเป็นไอออน อะตอมพลังงานสูงที่ถูกกระตุ้น และกลุ่มแอคทีฟต่างๆ มากมายในพื้นที่เคลือบ ซึ่งมีบทบาทสำคัญในขั้นตอนการให้ความร้อน การทำความสะอาด และการเคลือบในกระบวนการเคลือบ รูปแบบการทำงานของการไหลของอิเล็กตรอนอาร์คแตกต่างจากลำแสงไอออน โดยไม่ได้รวมกันเป็น "ลำแสง" ทั้งหมด แต่ส่วนใหญ่จะอยู่ในสถานะกระจายออก จึงเรียกว่าการไหลของอิเล็กตรอนอาร์ค เนื่องจากอิเล็กตรอนอาร์คไหลไปทางขั้วบวก การไหลของอิเล็กตรอนอาร์คจึงมุ่งไปยังตำแหน่งที่ขั้วบวกของแหล่งจ่ายไฟอาร์คเชื่อมต่ออยู่ และขั้วบวกอาจเป็นชิ้นงาน ขั้วบวกเสริม เบ้าหลอม ฯลฯ

 16836148539139113

2. วิธีการสร้างกระแสอิเล็กตรอนอาร์ค

(1) แหล่งก๊าซสร้างการไหลของอิเล็กตรอนอาร์ค: กระแสอาร์คของการปล่อยประจุอาร์คแคโทดกลวงและการปล่อยประจุอาร์คลวดร้อนสามารถสูงถึงประมาณ 200A และแรงดันอาร์คอยู่ที่ 50-70V

(2) แหล่งกำเนิดของแข็งสร้างการไหลของอิเล็กตรอนอาร์ค: แหล่งกำเนิดอาร์คแคโทด รวมถึงแหล่งกำเนิดอาร์คขนาดเล็ก แหล่งกำเนิดอาร์คทรงกระบอก แหล่งกำเนิดอาร์คขนาดใหญ่แบบระนาบสี่เหลี่ยม ฯลฯ กระแสอาร์คของการปล่อยประจุแหล่งกำเนิดอาร์คแคโทดแต่ละแหล่งคือ 80-200A และแรงดันอาร์คคือ 18-25V

การไหลของอิเล็กตรอนอาร์คที่มีความหนาแน่นสูงและพลังงานต่ำในพลาสมาการปล่อยประจุอาร์คสองประเภท สามารถสร้างการแตกตัวเป็นไอออนจากการชนอย่างรุนแรงกับอะตอมของก๊าซและฟิล์มโลหะ ทำให้เกิดไอออนของก๊าซ ไอออนของโลหะ และอะตอมและกลุ่มแอคทีฟพลังงานสูงต่างๆ มากขึ้น ซึ่งจะช่วยปรับปรุงกิจกรรมโดยรวมของไอออนในชั้นฟิล์ม

–บทความนี้เผยแพร่โดย Guangdong Zhenhuaผู้ผลิตเครื่องเคลือบสุญญากาศ


วันที่เผยแพร่: 31 พฤษภาคม 2566