1. Kenmerken van de elektronenstroom in booglampen
De dichtheid van elektronenstroom, ionenstroom en hoogenergetische neutrale atomen in het boogplasma dat door een boogontlading wordt gegenereerd, is veel hoger dan die van een gloeiontlading. Er zijn meer geïoniseerde gasionen en metaalionen, aangeslagen hoogenergetische atomen en diverse actieve groepen in de coatingruimte, die een belangrijke rol spelen in de verwarmings-, reinigings- en coatingfasen van het coatingproces. De werkingsvorm van de elektronenstroom in een boog verschilt van die van een ionenbundel; niet alle elektronen convergeren tot een "bundel", maar divergeren meestal, vandaar de naam elektronenstroom in een boog. Omdat de elektronen in een boog naar de anode stromen, is de elektronenstroom gericht naar de plek waar de positieve elektrode van de boogvoeding is aangesloten. De anode kan een werkstuk, hulpanode, smeltkroes, enzovoort zijn.
2. Methode voor het genereren van boog-elektronenstroom
(1) De gasbron genereert een boog-elektronenstroom: de boogstroom van een holle kathodeboogontlading en een gloeidraadboogontlading kan ongeveer 200 A bereiken, en de boogspanning is 50-70 V.
(2) Vaste bron genereert boog-elektronenstroom: kathodeboogbron, inclusief kleine boogbron, cilindrische boogbron, rechthoekige vlakke grote boogbron, enz. De boogstroom van elke kathodeboogbronontlading is 80-200 A en de boogspanning is 18-25 V.
De elektronenstroom met hoge dichtheid en lage energie in twee soorten boogontladingsplasma's kan intense botsingsionisatie genereren met gas- en metaalfilmatomen, waardoor meer gasionen, metaalionen en diverse hoogenergetische actieve atomen en groepen worden verkregen, en de algehele activiteit van de ionen in de filmlaag wordt verbeterd.
–Dit artikel is gepubliceerd door Guangdong Zhenhua, eenfabrikant van vacuümcoatingmachines
Geplaatst op: 31 mei 2023