1. Caractéristiques du flux d'électrons de la lumière d'arc
La densité des flux d'électrons, d'ions et d'atomes neutres de haute énergie dans le plasma d'arc généré par une décharge d'arc est bien supérieure à celle d'une décharge luminescente. On observe une plus grande concentration d'ions gazeux et d'ions métalliques ionisés, d'atomes de haute énergie excités et de divers groupes actifs dans l'espace de revêtement, ce qui joue un rôle important dans les phases de chauffage, de nettoyage et de dépôt du procédé. Le mode d'action du flux d'électrons d'arc diffère de celui d'un faisceau d'ions : les électrons ne convergent pas tous en un faisceau, mais divergent majoritairement, d'où l'appellation de flux d'électrons d'arc. Ce flux étant dirigé vers l'anode, il est orienté vers le point de connexion de l'électrode positive de l'alimentation d'arc, qui peut être la pièce à usiner, une anode auxiliaire, un creuset, etc.
2. Méthode de génération du flux d'électrons d'arc
(1) La source de gaz génère un flux d'électrons d'arc : le courant d'arc de la décharge d'arc à cathode creuse et de la décharge d'arc à fil chaud peut atteindre environ 200 A et la tension d'arc est de 50 à 70 V.
(2) Source solide générant un flux d'électrons d'arc : source d'arc cathodique, y compris petite source d'arc, source d'arc cylindrique, grande source d'arc plane rectangulaire, etc. Le courant d'arc de chaque décharge de source d'arc cathodique est de 80 à 200 A et la tension d'arc est de 18 à 25 V.
Le flux d'électrons d'arc à haute densité et à faible énergie dans deux types de plasmas de décharge d'arc peut générer une ionisation par collision intense avec les atomes de gaz et de film métallique, obtenant ainsi plus d'ions de gaz, d'ions métalliques et divers atomes et groupes actifs à haute énergie, améliorant ainsi l'activité globale des ions de la couche de film.
–Cet article a été publié par Guangdong Zhenhua, unfabricant de machines de revêtement sous vide
Date de publication : 31 mai 2023