1. Karakteristik aliran elektron cahaya busur
Kepadatan aliran elektron, aliran ion, dan atom netral berenergi tinggi dalam plasma busur yang dihasilkan oleh lucutan busur jauh lebih tinggi daripada lucutan pijar. Terdapat lebih banyak ion gas dan ion logam yang terionisasi, atom berenergi tinggi yang tereksitasi, dan berbagai gugus aktif di ruang pelapisan, yang memainkan peran penting dalam tahap pemanasan, pembersihan, dan pelapisan dalam proses pelapisan. Bentuk aksi aliran elektron busur berbeda dari berkas ion, yang tidak semuanya menyatu menjadi "berkas", tetapi sebagian besar dalam keadaan divergen, sehingga disebut aliran elektron busur. Karena elektron busur mengalir menuju anoda, aliran elektron busur diarahkan ke mana pun elektroda positif dari catu daya busur terhubung, dan anoda dapat berupa benda kerja, anoda bantu, wadah, dll.
2. Metode menghasilkan aliran elektron busur
(1) Sumber gas menghasilkan aliran elektron busur: arus busur pelepasan busur katoda berongga dan pelepasan busur kawat panas dapat mencapai sekitar 200A, dan tegangan busur adalah 50-70V.
(2) Sumber padat menghasilkan aliran elektron busur: sumber busur katoda, termasuk sumber busur kecil, sumber busur silinder, sumber busur besar bidang persegi panjang, dll. Arus busur dari setiap pelepasan sumber busur katoda adalah 80-200A, dan tegangan busur adalah 18-25V.
Aliran elektron busur berdensitas tinggi dan berenergi rendah dalam dua jenis plasma lucutan busur dapat menghasilkan ionisasi tumbukan intensif dengan atom gas dan lapisan logam, sehingga menghasilkan lebih banyak ion gas, ion logam, dan berbagai atom serta gugus aktif berenergi tinggi, yang pada akhirnya meningkatkan aktivitas keseluruhan ion lapisan film.
–Artikel ini diterbitkan oleh Guangdong Zhenhua, sebuahprodusen mesin pelapis vakum
Waktu posting: 31 Mei 2023