1. Ciri-ciri aliran elektron cahya busur
Kapadhetan aliran elektron, aliran ion, lan atom netral energi dhuwur ing plasma busur sing diasilake dening debit busur luwih dhuwur tinimbang debit cahya. Ana luwih akeh ion gas lan ion logam sing terionisasi, atom energi dhuwur sing tereksitasi, lan macem-macem gugus aktif ing ruang lapisan, sing nduweni peran penting ing tahap pemanasan, pembersihan, lan lapisan proses lapisan. Bentuk aksi aliran elektron busur beda karo sinar ion, ora kabeh konvergen dadi "sinar", nanging umume ing kahanan divergen, mula diarani aliran elektron busur. Amarga elektron busur mili menyang anoda, aliran elektron busur diarahake menyang ngendi wae elektroda positif saka catu daya busur disambungake, lan anoda bisa dadi benda kerja, anoda bantu, wadah, lan liya-liyane.
2. Cara ngasilake aliran elektron busur
(1) Sumber gas ngasilake aliran elektron busur: arus busur saka debit busur katoda berongga lan debit busur kawat panas bisa tekan udakara 200A, lan voltase busur yaiku 50-70V.
(2) Sumber padat ngasilake aliran elektron busur: sumber busur katoda, kalebu sumber busur cilik, sumber busur silinder, sumber busur gedhe bidang persegi panjang, lan liya-liyane. Arus busur saben debit sumber busur katoda yaiku 80-200A, lan voltase busur yaiku 18-25V.
Aliran elektron busur kapadhetan dhuwur lan energi rendah ing rong jinis plasma debit busur bisa ngasilake ionisasi tabrakan sing kuat karo atom film gas lan logam, ngasilake luwih akeh ion gas, ion logam, lan macem-macem atom lan gugus aktif energi dhuwur, saengga ningkatake aktivitas sakabèhé ion lapisan film.
–Artikel iki dirilis dening Guangdong Zhenhua, sawijiningprodusen mesin lapisan vakum
Wektu kiriman: 31 Mei 2023