1. Características do fluxo de elétrons da luz de arco
A densidade do fluxo de elétrons, do fluxo de íons e de átomos neutros de alta energia no plasma de arco gerado por descarga de arco é muito maior do que a de uma descarga luminescente. Há mais íons gasosos e íons metálicos ionizados, átomos de alta energia excitados e diversos grupos ativos no espaço de revestimento, que desempenham um papel importante nas etapas de aquecimento, limpeza e revestimento do processo de revestimento. A forma de ação do fluxo de elétrons do arco é diferente da do feixe de íons, pois nem todos os elétrons convergem em um "feixe", mas geralmente divergem, daí o nome fluxo de elétrons do arco. Como os elétrons do arco fluem em direção ao ânodo, o fluxo de elétrons do arco é direcionado para onde quer que o eletrodo positivo da fonte de alimentação do arco esteja conectado, e o ânodo pode ser a peça de trabalho, um ânodo auxiliar, um cadinho, etc.
2. Método de geração de fluxo de elétrons em arco
(1) A fonte de gás gera fluxo de elétrons de arco: a corrente de arco da descarga de arco de cátodo oco e da descarga de arco de fio quente pode atingir cerca de 200A e a tensão do arco é de 50-70V.
(2) Fonte sólida gera fluxo de elétrons de arco: fonte de arco catódico, incluindo fonte de arco pequeno, fonte de arco cilíndrico, fonte de arco grande plana retangular, etc. A corrente de arco de cada descarga de fonte de arco catódico é de 80-200A e a tensão do arco é de 18-25V.
O fluxo de elétrons de arco de alta densidade e baixa energia em dois tipos de plasmas de descarga de arco pode gerar ionização por colisão intensa com átomos de gás e filme metálico, obtendo mais íons de gás, íons metálicos e vários átomos e grupos ativos de alta energia, melhorando assim a atividade geral dos íons da camada do filme.
–Este artigo foi publicado pela Guangdong Zhenhua, uma agência de notícias.fabricante de máquinas de revestimento a vácuo
Data da publicação: 31 de maio de 2023