1. 아크광 전자 흐름의 특성
아크 방전에 의해 생성된 아크 플라즈마 내의 전자 흐름, 이온 흐름 및 고에너지 중성 원자의 밀도는 글로우 방전에 비해 훨씬 높습니다. 코팅 공간에는 더 많은 기체 이온과 금속 이온의 이온화, 고에너지 원자의 여기, 그리고 다양한 활성기가 존재하며, 이는 코팅 공정의 가열, 세척 및 코팅 단계에서 중요한 역할을 합니다. 아크 전자 흐름의 작용 형태는 이온 빔과 다르며, 모두 하나의 "빔"으로 수렴하는 것이 아니라 대부분 발산하는 상태이므로 아크 전자 흐름이라고 합니다. 아크 전자는 양극을 향해 흐르기 때문에 아크 전원 공급 장치의 양극이 연결된 곳으로 아크 전자 흐름이 발생하며, 양극은 공작물, 보조 양극, 도가니 등이 될 수 있습니다.
2. 아크 전자 흐름 생성 방법
(1) 가스 공급원은 아크 전자 흐름을 생성합니다. 중공 음극 아크 방전 및 열선 아크 방전의 아크 전류는 약 200A에 도달할 수 있으며 아크 전압은 50-70V입니다.
(2) 고체 소스는 아크 전자 흐름을 생성합니다. 음극 아크 소스에는 소형 아크 소스, 원통형 아크 소스, 직사각형 평면 대형 아크 소스 등이 포함됩니다. 각 음극 아크 소스 방전의 아크 전류는 80-200A이고 아크 전압은 18-25V입니다.
두 가지 유형의 아크 방전 플라즈마에서 발생하는 고밀도 저에너지 아크 전자 흐름은 기체 및 금속 박막 원자와 강렬한 충돌 이온화를 일으켜 더 많은 기체 이온, 금속 이온, 그리고 다양한 고에너지 활성 원자 및 그룹을 생성함으로써 박막층 이온의 전반적인 활성을 향상시킬 수 있습니다.
이 기사는 광둥진화(Guangdong Zhenhua)에서 발표했습니다.진공 코팅기 제조업체
게시일: 2023년 5월 31일