1. Yoy nuri elektron oqimining xususiyatlari
Yoy plazmasidagi yoy zaryadsizlanishi natijasida hosil bo'lgan elektron oqimi, ion oqimi va yuqori energiyali neytral atomlarning zichligi yorqin zaryadsizlanish zichligiga qaraganda ancha yuqori. Qoplama maydonida ko'proq gaz ionlari va metall ionlari ionlangan, qo'zg'atilgan yuqori energiyali atomlar va turli faol guruhlar mavjud bo'lib, ular qoplama jarayonining isitish, tozalash va qoplama bosqichlarida muhim rol o'ynaydi. Yoy elektron oqimining harakat shakli ion nuridan farq qiladi, ularning barchasi "nur" ga birlashmaydi, balki asosan divergent holatda bo'ladi, shuning uchun u yoy elektron oqimi deb ataladi. Yoy elektronlari anod tomon oqishi sababli, yoy elektron oqimi yoy quvvat manbaining musbat elektrodi ulangan joyga yo'naltiriladi va anod ishchi buyum, yordamchi anod, tigel va boshqalar bo'lishi mumkin.
2. Yoy elektron oqimini yaratish usuli
(1) Gaz manbai yoy elektron oqimini hosil qiladi: ichi bo'sh katod yoy zaryadsizlanishi va issiq sim yoy zaryadsizlanishining yoy oqimi taxminan 200A ga yetishi mumkin va yoy kuchlanishi 50-70V ni tashkil qiladi.
(2) Qattiq manba yoy elektron oqimini hosil qiladi: katod yoy manbai, shu jumladan kichik yoy manbai, silindrsimon yoy manbai, to'rtburchak tekislikdagi katta yoy manbai va boshqalar. Har bir katod yoy manbai zaryadining yoy oqimi 80-200A, yoy kuchlanishi esa 18-25V.
Ikki turdagi yoyli razryad plazmalarida yuqori zichlikdagi va past energiyali yoyli elektron oqimi gaz va metall plyonka atomlari bilan kuchli to'qnashuv ionlashuvini keltirib chiqarishi, ko'proq gaz ionlari, metall ionlari va turli xil yuqori energiyali faol atomlar va guruhlarni olishi va shu bilan plyonka qatlami ionlarining umumiy faolligini oshirishi mumkin.
–Ushbu maqola Guangdong Zhenhua tomonidan nashr etilgan, avakuumli qoplama mashinasi ishlab chiqaruvchisi
Nashr vaqti: 2023-yil 31-may