1. Características del flujo de electrones de la luz de arco
La densidad del flujo de electrones, iones y átomos neutros de alta energía en el plasma de arco generado por descarga de arco es mucho mayor que la de la descarga luminiscente. Hay más iones de gas e iones metálicos ionizados, átomos excitados de alta energía y diversos grupos activos en el espacio de recubrimiento, que desempeñan un papel importante en las etapas de calentamiento, limpieza y recubrimiento del proceso de recubrimiento. La forma de acción del flujo de electrones de arco es diferente a la del haz de iones, ya que no todos convergen en un "haz", sino que en su mayoría se encuentran en un estado divergente, por lo que se denomina flujo de electrones de arco. Debido a que los electrones de arco fluyen hacia el ánodo, el flujo de electrones de arco se dirige hacia donde esté conectado el electrodo positivo de la fuente de alimentación de arco, y el ánodo puede ser una pieza de trabajo, un ánodo auxiliar, un crisol, etc.
2. Método para generar flujo de electrones de arco
(1) La fuente de gas genera un flujo de electrones de arco: la corriente de arco de la descarga de arco de cátodo hueco y la descarga de arco de alambre caliente pueden alcanzar unos 200 A, y el voltaje del arco es de 50-70 V.
(2) La fuente sólida genera el flujo de electrones del arco: fuente de arco catódico, que incluye fuente de arco pequeño, fuente de arco cilíndrica, fuente de arco grande de plano rectangular, etc. La corriente de arco de cada descarga de fuente de arco catódico es de 80-200 A y el voltaje del arco es de 18-25 V.
El flujo de electrones de arco de alta densidad y baja energía en dos tipos de plasmas de descarga de arco puede generar una ionización por colisión intensa con átomos de gas y de película metálica, obteniendo más iones de gas, iones de metal y varios átomos y grupos activos de alta energía, mejorando así la actividad general de los iones de la capa de película.
–Este artículo fue publicado por Guangdong Zhenhua, unafabricante de máquinas de recubrimiento al vacío
Fecha de publicación: 31 de mayo de 2023