1. Qövs işığının elektron axınının xüsusiyyətləri
Qövs boşalması nəticəsində yaranan qövs plazmasında elektron axınının, ion axınının və yüksək enerjili neytral atomların sıxlığı parıltı boşalmasının sıxlığından daha yüksəkdir. Örtük sahəsində daha çox qaz ionu və ionlaşmış, həyəcanlanmış yüksək enerjili atomlar və müxtəlif aktiv qruplar mövcuddur ki, bunlar da örtmə prosesinin qızdırılması, təmizlənməsi və örtmə mərhələlərində mühüm rol oynayır. Qövs elektron axınının təsir forması ion şüasının təsir formasından fərqlidir, hamısı "şüaya" çevrilmir, əksər hallarda divergent vəziyyətdədir, buna görə də qövs elektron axını adlanır. Qövs elektronları anoda doğru axdığı üçün qövs elektron axını qövs enerji mənbəyinin müsbət elektrodunun qoşulduğu yerə yönəldilir və anod iş parçası, köməkçi anod, potolok və s. ola bilər.
2. Qövs elektron axınının yaradılması metodu
(1) Qaz mənbəyi qövs elektron axını yaradır: boş katod qövs boşalmasının və isti tel qövs boşalmasının qövs cərəyanı təxminən 200A-a çata bilər və qövs gərginliyi 50-70V-dir.
(2) Bərk mənbə qövs elektron axını yaradır: katod qövs mənbəyi, o cümlədən kiçik qövs mənbəyi, silindrik qövs mənbəyi, düzbucaqlı müstəvi böyük qövs mənbəyi və s. Hər bir katod qövs mənbəyinin boşalmasının qövs cərəyanı 80-200A, qövs gərginliyi isə 18-25V-dir.
İki növ qövs boşaltma plazmasında yüksək sıxlıqlı və aşağı enerjili qövs elektron axını qaz və metal təbəqə atomları ilə intensiv toqquşma ionlaşması yarada bilər, daha çox qaz ionu, metal ionu və müxtəlif yüksək enerjili aktiv atomlar və qruplar əldə edə bilər və bununla da təbəqə təbəqəsi ionlarının ümumi aktivliyini artıra bilər.
–Bu məqalə Guangdong Zhenhua tərəfindən dərc edilibvakuum örtük maşını istehsalçısı
Yayımlanma vaxtı: 31 may 2023