1. Хусусиятҳои ҷараёни электронии нури камоншакл
Зичии ҷараёни электрон, ҷараёни ион ва атомҳои бетарафи энергияи баланд дар плазмаи камоншакл, ки аз разряди камоншакл ба вуҷуд меоянд, нисбат ба разряди дурахшон хеле баландтар аст. Дар фазои пӯшиш ионҳои газ ва ионҳои металлии ионшуда, атомҳои энергияи баландҳаяҷон ва гурӯҳҳои гуногуни фаъол бештар мавҷуданд, ки дар марҳилаҳои гармкунӣ, тозакунӣ ва пӯшиши раванди пӯшиш нақши муҳим мебозанд. Шакли амали ҷараёни электронҳои камоншакл аз шакли шуои ионшакл фарқ мекунад, ки на ҳамаашон ба "шуоъ" табдил меёбанд, балки асосан дар ҳолати дивергентӣ мебошанд, аз ин рӯ онро ҷараёни электронҳои камоншакл меноманд. Азбаски электронҳои камоншакл ба самти анод ҳаракат мекунанд, ҷараёни электронҳои камоншакл ба ҳар ҷое, ки электроди мусбати манбаи барқи камоншакл пайваст аст, равона карда мешавад ва анод метавонад қисми корӣ, аноди ёрирасон, тигель ва ғайра бошад.
2. Усули тавлиди ҷараёни электронии камоншакл
(1) Манбаи газ ҷараёни электронҳои камонро ба вуҷуд меорад: ҷараёни камони разряди камони катоди холӣ ва разряди камони сими гарм метавонад ба тақрибан 200А расад ва шиддати камон 50-70В аст.
(2) Манбаи сахт ҷараёни электронии камонро ба вуҷуд меорад: манбаи камони катодӣ, аз ҷумла манбаи камони хурд, манбаи камони силиндрӣ, ҳамвории росткунҷа манбаи камони калон ва ғайра. Ҷараёни камони ҳар як разряди манбаи камони катодӣ 80-200А ва шиддати камон 18-25В аст.
Ҷараёни электронҳои камони зичии баланд ва камэнергия дар ду намуди плазмаҳои разряди камон метавонад ионизатсияи бархӯрди шадидро бо атомҳои плёнкаи газ ва металлӣ ба вуҷуд орад, ки боиси ба даст овардани ионҳои газ, ионҳои металлӣ ва атомҳо ва гурӯҳҳои гуногуни фаъоли энергияи баланд мегардад ва бо ин васила фаъолияти умумии ионҳои қабати плёнкаро беҳтар мекунад.
–Ин мақола аз ҷониби Гуандун Чжэнхуа нашр шудааст,истеҳсолкунандаи мошини пӯшонидани вакуумӣ
Вақти нашр: 31 майи соли 2023