1. Характеристики на електронен поток от дъгова светлина
Плътността на електронния поток, йонния поток и високоенергийните неутрални атоми в дъговата плазма, генерирана от дъговия разряд, е много по-висока от тази на тлеещия разряд.Има повече газови йони и метални йони, йонизирани, възбудени високоенергийни атоми и различни активни групи в пространството на покритието, които играят важна роля в етапите на нагряване, почистване и покриване на процеса на покритие.Формата на действие на дъговия електронен поток е различна от тази на йонния лъч, не всички от които се събират в „лъч“, но най-вече в дивергентно състояние, така че се нарича дъгов електронен поток.Тъй като електроните на дъгата текат към анода, електронният поток на дъгата се насочва навсякъде, където е свързан положителният електрод на захранването на дъгата, а анодът може да бъде детайл, спомагателен анод, тигел и т.н.
2. Метод за генериране на дъгов електронен поток
(1) Източникът на газ генерира електронен поток на дъгата: токът на дъгата при електродъгов разряд с кух катод и електродъгов разряд с горещ проводник може да достигне около 200 A, а напрежението на дъгата е 50-70 V.
(2) Твърдият източник генерира електронен поток на дъгата: източник на катодна дъга, включително източник на малка дъга, източник на цилиндрична дъга, източник на голяма дъга с правоъгълна равнина и т.н. 18-25V.
Електронният поток на дъгата с висока плътност и нискоенергия в два вида плазми с електродъгов разряд може да генерира интензивна йонизация при сблъсък с газови и метални филмови атоми, получаване на повече газови йони, метални йони и различни високоенергийни активни атоми и групи, като по този начин подобрява общата активност на йоните на филмовия слой.
– Тази статия е публикувана от Guangdong Zhenhua, aпроизводител на машини за вакуумно покритие
Време на публикуване: 31 май 2023 г