1. Характеристики дугового потоку електронів
Щільність потоку електронів, потоків іонів і високоенергетичних нейтральних атомів у дуговій плазмі, створюваній дуговим розрядом, набагато вища, ніж у тліючому розряді.У просторі покриття є більше іонів газу та іонів металу, збуджених атомів високої енергії та різноманітних активних груп, які відіграють важливу роль на стадіях нагрівання, очищення та нанесення покриття в процесі нанесення покриття.Форма дії дугового електронного потоку відрізняється від форми іонного пучка, не всі з яких сходяться в «промінь», але переважно в розбіжному стані, тому його називають дуговим електронним потоком.Оскільки електрони дуги течуть до анода, потік електронів дуги спрямований усюди, куди підключено позитивний електрод джерела живлення дуги, а анодом може бути заготовка, допоміжний анод, тигель тощо.
2. Спосіб генерації дугового потоку електронів
(1) Джерело газу створює потік електронів дуги: струм дуги дугового розряду з порожнистим катодом і дугового розряду з гарячим дротом може досягати приблизно 200 А, а напруга дуги становить 50-70 В.
(2) Тверде джерело генерує потік електронів дуги: джерело катодної дуги, включаючи мале дугове джерело, циліндричне дугове джерело, прямокутне плоско дугове джерело великої дуги тощо. Струм дуги кожного розряду катодного дугового джерела становить 80-200 А, а напруга дуги становить 18-25В.
Потік електронів дуги з високою щільністю та низькою енергією в двох типах плазми дугового розряду може генерувати інтенсивну зіткнення з атомами газу та металевої плівки, отримуючи більше іонів газу, іонів металу та різних високоенергетичних активних атомів і груп, тим самим покращуючи загальна активність іонів плівкового шару.
– Цю статтю опублікував Guangdong Zhenhua, aвиробник машини для вакуумного покриття
Час публікації: 31 травня 2023 р