1. Ýaý şöhlesiniň elektron akymynyň häsiýetnamalary
Ýaý plazmasyndaky ýaý boşalmasy arkaly döreýän elektron akymynyň, ion akymynyň we ýokary energiýaly neýtral atomlaryň dykyzlygy ýalpyldawuk boşalmasyndan has ýokarydyr. Örtük giňişliginde has köp gaz ionlary we ionlaşdyrylan, gyjyndyrylan ýokary energiýaly atomlar we dürli işjeň toparlar bar, olar örtük prosesiniň gyzdyrmak, arassalamak we örtmek tapgyrlarynda möhüm rol oýnaýar. Ýaý elektron akymynyň hereket görnüşi ion şöhlesinden tapawutlanýar, olaryň hemmesi "şöhle" birleşmeýär, esasan tapawutly ýagdaýda bolýar, şonuň üçin oňa ýaý elektron akymy diýilýär. Ýaý elektronlary anoda tarap akýandygy sebäpli, ýaý elektron akymy ýaý elektrik çeşmesiniň oňyn elektrodynyň birikdirilen ýerine gönükdirilendir we anod iş bölegi, kömekçi anod, tigel we ş.m. bolup biler.
2. Ýaý elektron akymyny döretmegiň usuly
(1) Gaz çeşmesi ýaý elektron akymyny döredýär: boş katod ýaý boşadyşynyň we gyzgyn sim ýaý boşadyşynyň ýaý togy takmynan 200A ýetip bilýär we ýaý naprýaženiýesi 50-70V bolýar.
(2) Gaty çeşme ýaýly elektron akymyny döredýär: katod ýaýly çeşme, şol sanda kiçi ýaýly çeşme, silindrik ýaýly çeşme, gönüburçluk tekizlik uly ýaýly çeşme we ş.m. Her bir katod ýaýly çeşmesiniň boşalmasynyň ýaýly togy 80-200A, ýaýly naprýaženiýe bolsa 18-25V.
Iki görnüşli ýaý boşaltma plazmalaryndaky ýokary dykyzlykly we pes energiýaly ýaý elektron akymy gaz we metal plýonka atomlary bilen güýçli çaknyşyk ionlaşmasyny döredip, has köp gaz ionlaryny, metal ionlaryny we dürli ýokary energiýaly aktiw atomlary we toparlary alyp, şeýlelik bilen plýonka gatlagynyň ionlarynyň umumy işjeňligini ýokarlandyryp biler.
–Bu makala Guangdong Zhenhua tarapyndan çap edildi, awakuum örtük maşyny öndüriji
Ýerleşdirilen wagty: 2023-nji ýylyň 31-nji maýy