1.Карактеристике струјања лаких електрона лука
Густина протока електрона, протока јона и високоенергетских неутралних атома у лучној плазми генерисаној лучним пражњењем је много већа од густине усијаног пражњења.Постоји више јона гаса и јона метала јонизованих, побуђених високоенергетских атома и различитих активних група у простору за премазивање, који играју важну улогу у фазама загревања, чишћења и облагања процеса наношења премаза.Акциони облик струјања електрона лука се разликује од оног код јонског снопа, од којих се сви не конвергирају у „сноп“, већ углавном у дивергентном стању, па се назива струјање електрона лука.Пошто електрони лука теку ка аноди, струјање електрона лука је усмерено где год је прикључена позитивна електрода напајања лука, а анода може бити радни предмет, помоћна анода, лончић итд.
2.Метода генерисања струјања електрона лука
(1) Извор гаса генерише ток електрона лука: струја лука пражњења шупље катоде и лучног пражњења вруће жице може да достигне око 200А, а напон лука је 50-70В.
(2) Чврсти извор генерише проток електрона лука: извор катодног лука, укључујући извор малог лука, извор цилиндричног лука, извор великог лука правоугаоне равни, итд. Струја лука сваког пражњења катодног извора лука је 80-200А, а напон лука је 18-25В.
Проток електрона лука високе густине и ниске енергије у два типа плазме са лучним пражњењем може генерисати интензивну колизијску јонизацију са гасом и атомима металног филма, добијајући више јона гаса, металних јона и различитих високоенергетских активних атома и група, чиме се побољшава укупна активност јона филмског слоја.
– Овај чланак је објавио Гуангдонг Зхенхуа, апроизвођач машина за вакуумско облагање
Време поста: 31.05.2023