1. Valokaarien elektronivirran ominaisuudet
Valokaaripurkauksen tuottaman kaariplasman elektronivirran, ionivirran ja korkean energian neutraalien atomien tiheys on paljon suurempi kuin hehkupurkauksen tiheys.Päällystystilassa on enemmän kaasuioneja ja metalli-ioneja ionisoituja, virittyneitä korkeaenergisiä atomeja ja erilaisia aktiivisia ryhmiä, joilla on tärkeä rooli pinnoitusprosessin kuumennus-, puhdistus- ja pinnoitusvaiheissa.Valokaarielektronivirran toimintamuoto on erilainen kuin ionisuihkulla, joista kaikki eivät konvergoi "säteeksi", vaan enimmäkseen divergenttitilassa, joten sitä kutsutaan kaarielektronivirtaukseksi.Koska kaarielektroneja virtaa anodia kohti, kaarielektronivirtaus suunnataan sinne, missä kaarivirtalähteen positiivinen elektrodi on kytketty, ja anodi voi olla työkappale, apuanodi, upokas jne.
2.Menetelmä kaarielektronivirran muodostamiseksi
(1) Kaasulähde tuottaa kaarielektronivirtauksen: onton katodin kaaripurkauksen ja kuumalangan kaaripurkauksen kaarivirta voi saavuttaa noin 200 A ja kaarijännite on 50-70 V.
(2) Kiinteä lähde synnyttää kaarielektronivirran: katodikaarilähde, mukaan lukien pieni kaarilähde, sylinterimäinen kaarilähde, suorakaiteen muotoinen taso suuri kaarilähde jne. Kunkin katodikaarilähteen purkauksen kaarivirta on 80-200 A ja kaarijännite on 18-25V.
Suuritiheyksinen ja matalaenerginen kaarielektronivirta kahden tyyppisissä kaaripurkausplasmoissa voi aiheuttaa voimakasta törmäysionisaatiota kaasu- ja metallikalvoatomien kanssa, jolloin saadaan enemmän kaasu-ioneja, metalli-ioneja ja erilaisia korkean energian aktiivisia atomeja ja ryhmiä, mikä parantaa kalvokerroksen ionien kokonaisaktiivisuus.
– Tämän artikkelin julkaisi Guangdong Zhenhua, atyhjiöpinnoituskoneiden valmistaja
Postitusaika: 31.5.2023