1. Дого жарыгынын электрон агымынын мүнөздөмөлөрү
Дого плазмасындагы дого разряды менен пайда болгон электрондук агымдын, ион агымынын жана жогорку энергиялуу нейтралдуу атомдордун тыгыздыгы жаркыроо разрядыныкына караганда алда канча жогору. Каптоо мейкиндигинде газ иондору жана металл иондору иондоштурулган, дүүлүккөн жогорку энергиялуу атомдор жана ар кандай активдүү топтор көбүрөөк, алар каптоо процессинин ысытуу, тазалоо жана каптоо этаптарында маанилүү ролду ойнойт. Дого электрондук агымынын аракет формасы ион нурунан айырмаланат, алардын баары эле "нурга" бириге бербейт, бирок көбүнчө дивергенттик абалда болот, ошондуктан ал дого электрондук агымы деп аталат. Дого электрондору анодго карай агып жаткандыктан, дого электрондук агымы дого электр булагынын оң электроду туташкан жерге багытталат жана анод жумуш бөлүкчөсү, жардамчы анод, тигель ж.б. болушу мүмкүн.
2. Дого электрондук агымын түзүү ыкмасы
(1) Газ булагы жаа электрон агымын пайда кылат: көңдөй катоддук жаа разрядынын жана ысык зымдуу жаа разрядынын жаа тогу болжол менен 200Ага жетиши мүмкүн, ал эми жаа чыңалуу 50-70В.
(2) Катуу булак жаа электрон агымын пайда кылат: катоддук жаа булагы, анын ичинде кичинекей жаа булагы, цилиндрдик жаа булагы, тик бурчтуу тегиздиктеги чоң жаа булагы ж.б. Ар бир катоддук жаа булагынын разрядынын жаа тогу 80-200А, ал эми жаа чыңалуу 18-25В.
Эки түрдөгү жаа разряд плазмаларындагы жогорку тыгыздыктагы жана аз энергиялуу жаа электрон агымы газ жана металл пленка атомдору менен интенсивдүү кагылышуу иондоштуруусун пайда кылып, көбүрөөк газ иондорун, металл иондорун жана ар кандай жогорку энергиялуу активдүү атомдорду жана топторду алып, ошону менен пленка катмарынын иондорунун жалпы активдүүлүгүн жакшыртат.
–Бул макала Гуандун Чжэньхуа тарабынан жарыяланган,вакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсү
Жарыяланган убактысы: 2023-жылдын 31-майы