1. Характеристики потока электронов дугового света
Плотность потока электронов, потока ионов и высокоэнергетических нейтральных атомов в дуговой плазме, генерируемой дуговым разрядом, значительно выше, чем в тлеющем разряде. В пространстве покрытия содержится больше ионизированных газовых и металлических ионов, возбужденных высокоэнергетических атомов и различных активных групп, которые играют важную роль на этапах нагрева, очистки и нанесения покрытия. Форма действия потока электронов дуги отличается от формы действия ионного пучка: не все электроны сходятся в «пучок», а в основном находятся в расходящемся состоянии, поэтому его называют потоком электронов дуги. Поскольку электроны дуги движутся к аноду, поток электронов дуги направляется туда, где подключен положительный электрод источника дугового питания, а анодом может быть заготовка, вспомогательный анод, тигель и т. д.
2. Способ генерации электрического потока дуги
(1) Источник газа генерирует поток электронов дуги: ток дуги разряда полого катода и разряда горячей проволоки может достигать примерно 200 А, а напряжение дуги составляет 50-70 В.
(2) Твердотельный источник генерирует поток электронов дуги: катодный дуговой источник, включая малый дуговой источник, цилиндрический дуговой источник, прямоугольный плоский большой дуговой источник и т. д. Ток дуги каждого катодного дугового источника составляет 80-200 А, а напряжение дуги — 18-25 В.
Высокоплотный и низкоэнергетический поток электронов дугового разряда в двух типах плазмы может вызывать интенсивную столкновительную ионизацию атомов газа и металлической пленки, обеспечивая образование большего количества ионов газа, ионов металла, а также различных высокоэнергетических активных атомов и групп, тем самым повышая общую активность ионов пленочного слоя.
–Эта статья была опубликована компанией Guangdong Zhenhua.производитель вакуумных напыляемых машин
Дата публикации: 31 мая 2023 г.