1. Доғалық жарық электрон ағынының сипаттамалары
Доғалық плазмадағы доғалық разряд арқылы пайда болатын электрон ағынының, ион ағынының және жоғары энергиялы бейтарап атомдардың тығыздығы жарқыл разрядына қарағанда әлдеқайда жоғары. Қаптау кеңістігінде газ иондары мен металл иондары көбірек, иондалған, қоздырылған жоғары энергиялы атомдар және әртүрлі белсенді топтар бар, олар жабу процесінің қыздыру, тазалау және жабу кезеңдерінде маңызды рөл атқарады. Доғалық электрон ағынының әрекет ету формасы иондық сәуледен өзгеше, олардың барлығы «сәулеге» жиналмайды, көбінесе дивергентті күйде болады, сондықтан ол доғалық электрон ағыны деп аталады. Доғалық электрондар анодқа қарай ағатындықтан, доғалық электрон ағыны доғалық қуат көзінің оң электроды қосылған жерге бағытталған, ал анод дайындама, көмекші анод, тигель және т.б. болуы мүмкін.
2. Доғалық электрон ағынын генерациялау әдісі
(1) Газ көзі доғалық электрон ағынын тудырады: қуыс катодты доғалық разряд пен ыстық сым доғалық разрядтың доғалық тогы шамамен 200 А жетуі мүмкін, ал доғалық кернеу 50-70 В құрайды.
(2) Қатты ток көзі доғалық электрон ағынын тудырады: катодтық доға көзі, оның ішінде кіші доға көзі, цилиндрлік доға көзі, тікбұрышты жазықтықтағы үлкен доға көзі және т.б. Әрбір катодтық доға көзінің разрядының доға тогы 80-200 А, ал доға кернеуі 18-25 В.
Доғалық разряд плазмаларының екі түріндегі жоғары тығыздықтағы және төмен энергиялы доғалық электрон ағыны газ және металл пленка атомдарымен қарқынды соқтығысу иондалуын тудыруы мүмкін, бұл көбірек газ иондарын, металл иондарын және әртүрлі жоғары энергиялы белсенді атомдар мен топтарды алуы мүмкін, осылайша пленка қабаты иондарының жалпы белсенділігін жақсартады.
–Бұл мақаланы Гуандун Чжэньхуа жариялады,вакуумдық жабын машинасын өндіруші
Жарияланған уақыты: 2023 жылғы 31 мамыр