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Caratteristiche e metodi di generazione del flusso di elettroni ad arco

Fonte dell'articolo: Zhenhua Vacuum
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Pubblicato: 23-05-31

1. Caratteristiche del flusso di elettroni nella luce dell'arco

La densità del flusso di elettroni, del flusso di ioni e degli atomi neutri ad alta energia nel plasma ad arco generato dalla scarica ad arco è molto più elevata rispetto a quella della scarica a bagliore. Sono presenti più ioni gassosi e ioni metallici ionizzati, atomi ad alta energia eccitati e vari gruppi attivi nello spazio di rivestimento, che svolgono un ruolo importante nelle fasi di riscaldamento, pulizia e rivestimento del processo di rivestimento. La forma d'azione del flusso di elettroni ad arco è diversa da quella del fascio ionico: non tutti gli elettroni convergono in un "fascio", ma perlopiù si presentano in uno stato divergente, da cui il nome di flusso di elettroni ad arco. Poiché gli elettroni ad arco fluiscono verso l'anodo, il flusso di elettroni ad arco è diretto ovunque sia collegato l'elettrodo positivo dell'alimentatore ad arco, e l'anodo può essere il pezzo in lavorazione, l'anodo ausiliario, il crogiolo, ecc.

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2. Metodo per generare il flusso di elettroni dell'arco

(1) La sorgente di gas genera un flusso di elettroni ad arco: la corrente d'arco della scarica ad arco a catodo cavo e della scarica ad arco a filo caldo può raggiungere circa 200 A e la tensione dell'arco è di 50-70 V.

(2) La sorgente solida genera un flusso di elettroni ad arco: sorgente ad arco catodico, inclusa la sorgente ad arco piccolo, la sorgente ad arco cilindrica, la sorgente ad arco grande rettangolare, ecc. La corrente d'arco di ciascuna scarica della sorgente ad arco catodico è di 80-200 A e la tensione d'arco è di 18-25 V.

Il flusso di elettroni ad arco ad alta densità e bassa energia in due tipi di plasmi di scarica ad arco può generare un'intensa ionizzazione da collisione con gli atomi del film di gas e metallo, ottenendo più ioni di gas, ioni metallici e vari atomi e gruppi attivi ad alta energia, migliorando così l'attività complessiva degli ioni dello strato di film.

–Questo articolo è stato pubblicato da Guangdong Zhenhua, unproduttore di macchine per rivestimento sottovuoto


Data di pubblicazione: 31 maggio 2023