Mga Katangian at Paraan ng Pagbuo ng Daloy ng Arc Electron

1. Mga katangian ng daloy ng elektron sa arc light

Ang densidad ng daloy ng elektron, daloy ng ion, at mga high-energy neutral na atomo sa arc plasma na nabuo ng arc discharge ay mas mataas kaysa sa glow discharge. Mayroong mas maraming gas ions at metal ions na na-ionize, na-excite na high-energy na atomo, at iba't ibang aktibong grupo sa espasyo ng patong, na gumaganap ng mahalagang papel sa mga yugto ng pag-init, paglilinis, at patong ng proseso ng patong. Ang anyo ng aksyon ng arc electron flow ay naiiba sa ion beam, na hindi lahat ay nagtatagpo sa isang "beam", ngunit karamihan ay nasa isang divergent state, kaya ito ay tinatawag na arc electron flow. Dahil ang mga arc electron ay dumadaloy patungo sa anode, ang daloy ng arc electron ay nakadirekta saanman nakakonekta ang positibong elektrod ng arc power supply, at ang anode ay maaaring maging isang workpiece, auxiliary anode, crucible, atbp.

2. Paraan ng pagbuo ng daloy ng arko ng elektron

(1) Ang pinagmumulan ng gas ay bumubuo ng daloy ng arc electron: ang arc current ng hollow cathode arc discharge at hot wire arc discharge ay maaaring umabot sa humigit-kumulang 200A, at ang arc voltage ay 50-70V.

(2) Ang solidong pinagmumulan ay bumubuo ng daloy ng arc electron: pinagmumulan ng cathode arc, kabilang ang maliit na pinagmumulan ng arc, cylindrical arc source, rectangular plane large arc source, atbp. Ang arc current ng bawat cathode arc source discharge ay 80-200A, at ang arc voltage ay 18-25V.

Ang daloy ng arc electron na may mataas na densidad at mababang enerhiya sa dalawang uri ng arc discharge plasma ay maaaring makabuo ng matinding collision ionization sa mga atomo ng gas at metal film, na nagreresulta sa mas maraming gas ions, metal ions, at iba't ibang high-energy active atoms at groups, sa gayon ay nagpapabuti sa pangkalahatang aktibidad ng mga film layer ions.

–Ang artikulong ito ay inilabas ni Guangdong Zhenhua, isangtagagawa ng vacuum coating machine