1. Značilnosti toka elektronov obločne svetlobe
Gostota toka elektronov, toka ionov in visokoenergijskih nevtralnih atomov v plazmi obloka, ki jo ustvari obločna razelektritev, je veliko večja kot pri žareči razelektritvi.V prevlečnem prostoru je več plinskih ionov in kovinskih ionov, ioniziranih vzbujenih visokoenergijskih atomov in različnih aktivnih skupin, ki igrajo pomembno vlogo v stopnjah ogrevanja, čiščenja in nanašanja prevleke.Delovna oblika toka elektronov obloka je drugačna od oblike ionskega žarka, ki ne konvergira vsak v "žarek", ampak večinoma v divergentnem stanju, zato se imenuje tok elektronov obloka.Ker elektroni obloka tečejo proti anodi, je tok elektronov obloka usmerjen povsod, kamor je priključena pozitivna elektroda napajalnika obloka, anoda pa je lahko obdelovanec, pomožna anoda, lonček itd.
2. Metoda generiranja obločnega toka elektronov
(1) Vir plina ustvarja obločni tok elektronov: obločni tok obločne razelektritve z votlo katodo in obločne razelektritve z vročo žico lahko doseže približno 200 A, napetost obloka pa je 50–70 V.
(2) Trdni vir ustvarja obločni tok elektronov: vir katodnega obloka, vključno z virom majhnega obloka, cilindričnim virom obloka, pravokotnim ravnim virom velikega obloka itd. Obločni tok vsake razelektritve vira katodnega obloka je 80–200 A, napetost obloka 18-25V.
Elektronski tok z visoko gostoto in nizkoenergijo v dveh vrstah plazme praznjenja obloka lahko povzroči intenzivno trkovno ionizacijo z atomi plina in kovinskega filma, s čimer pridobi več plinskih ionov, kovinskih ionov in različnih visokoenergijskih aktivnih atomov in skupin, s čimer se izboljša celotno aktivnost ionov filmske plasti.
– Ta članek je objavil Guangdong Zhenhua, aproizvajalec strojev za vakuumsko nanašanje
Čas objave: 31. maja 2023