1. Нуман гэрлийн электрон урсгалын шинж чанар
Нуман плазм дахь нуман цэнэг алдалтаас үүссэн электрон урсгал, ионы урсгал, өндөр энергитэй саармаг атомуудын нягтрал нь гэрэлтсэн цэнэг алдалтаас хамаагүй өндөр байдаг. Бүрхүүлгийн орон зайд илүү олон хийн ионууд болон металл ионууд байдаг бөгөөд ионжуулсан, өдөөгдсөн өндөр энергитэй атомууд болон янз бүрийн идэвхтэй бүлгүүд байдаг бөгөөд эдгээр нь бүрхэлтийн процессын халаалт, цэвэрлэгээ, бүрхэлтийн үе шатанд чухал үүрэг гүйцэтгэдэг. Нуман электрон урсгалын үйлчлэх хэлбэр нь ионы цацрагаас өөр бөгөөд бүгд "цацраг" болж нэгддэггүй, харин ихэвчлэн хуваагдмал төлөвт байдаг тул үүнийг нуман электрон урсгал гэж нэрлэдэг. Нуман электронууд анод руу чиглэн урсдаг тул нуман электрон урсгал нь нуман тэжээлийн эх үүсвэрийн эерэг электрод холбогдсон газар руу чиглэдэг бөгөөд анод нь ажлын хэсэг, туслах анод, тигель гэх мэт байж болно.
2. Нуман электрон урсгал үүсгэх арга
(1) Хийн эх үүсвэр нь нуман электрон урсгалыг үүсгэдэг: хөндий катодын нуман цэнэг алдалт болон халуун утсан нуман цэнэг алдалтын нуман гүйдэл нь ойролцоогоор 200А хүрч болох бөгөөд нуман хүчдэл нь 50-70В байна.
(2) Хатуу эх үүсвэр нь нуман электрон урсгалыг үүсгэдэг: катодын нуман эх үүсвэр, үүнд жижиг нуман эх үүсвэр, цилиндр хэлбэртэй нуман эх үүсвэр, тэгш өнцөгт хавтгай том нуман эх үүсвэр гэх мэт. Катодын нуман эх үүсвэрийн цэнэг тус бүрийн нуман гүйдэл 80-200А, нумын хүчдэл 18-25В байна.
Хоёр төрлийн нуман цэнэглэх плазм дахь өндөр нягтралтай ба бага энергитэй нуман электрон урсгал нь хий болон металл хальсан атомуудтай хүчтэй мөргөлдөөн ионжуулалт үүсгэж, илүү их хийн ион, металл ион болон янз бүрийн өндөр энергитэй идэвхтэй атом, бүлгийг бий болгож, улмаар хальсан давхаргын ионуудын нийт идэвхжилийг сайжруулдаг.
–Энэ нийтлэлийг Гуандун Жэнхуа нийтэлсэн.вакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгч
Нийтэлсэн цаг: 2023 оны 5-р сарын 31