1.アーク光電子流の特性
アーク放電によって生成されるアークプラズマ中の電子流、イオン流、高エネルギー中性原子の密度は、グロー放電の密度よりもはるかに高く、コーティング空間にはより多くのガスイオンと金属イオンがイオン化し、励起された高エネルギー原子とさまざまな活性基があり、コーティングプロセスの加熱、洗浄、コーティング段階で重要な役割を果たします。アーク電子流の作用形態はイオンビームとは異なり、すべてが「ビーム」に収束するのではなく、ほとんどが発散状態であるため、アーク電子流と呼ばれます。アーク電子は陽極に向かって流れるため、アーク電源の正極が接続されている場所にアーク電子流が向けられ、陽極はワークピース、補助陽極、るつぼなどになります。
2.アーク電子流の発生方法
（１）ガス源はアーク電子流を発生させます。中空陰極アーク放電と熱線アーク放電のアーク電流は約200Aに達し、アーク電圧は50～70Vです。
（2）固体源はアーク電子流を生成する：陰極アーク源には、小型アーク源、円筒形アーク源、長方形平面大型アーク源などが含まれる。各陰極アーク源放電のアーク電流は80〜200A、アーク電圧は18〜25Vである。
2種類のアーク放電プラズマにおける高密度かつ低エネルギーのアーク電子流は、ガスおよび金属膜原子との強力な衝突イオン化を発生させ、より多くのガスイオン、金属イオン、およびさまざまな高エネルギー活性原子とグループを取得し、それによって膜層イオンの全体的な活性を向上させることができます。
–この記事は、広東振華社から発表されたものです。真空コーティング機メーカー
投稿日時: 2023年5月31日