מהם הסיווגים של ציוד ציפוי בוואקום?

טכנולוגיית ציפוי ואקום היא טכנולוגיה המניחה חומרי שכבה דקה על פני השטח של חומרי מצע תחת סביבת ואקום, והיא נמצאת בשימוש נרחב בתחומי האלקטרוניקה, האופטיקה, האריזה, הקישוט ותחומים אחרים. ניתן לחלק את ציוד ציפוי הוואקום בעיקר לסוגים הבאים:

1. ציוד ציפוי באידוי תרמי: זוהי שיטת ציפוי הוואקום המסורתית ביותר, על ידי חימום חומר שכבה דקה בסירת האידוי, החומר מתאדה ומופקד על פני חומר המצע.
2. ציוד ציפוי התזה: באמצעות יונים בעלי אנרגיה גבוהה המגיעים לפני השטח של חומר המטרה, אטומי חומר המטרה מתזהים ומשקעים על חומר המצע. התזה מגנטרונית מסוגלת להשיג הידבקות אחידה וחזקה יותר של הסרט, מתאימה לייצור המוני.
3. ציוד להפקדת אלומת יונים: אלומת יונים משמשת להפקדת חומרי שכבה דקה על גבי המצע. שיטה זו יכולה להשיג שכבות אחידות מאוד ומתאימה לאירועים עם דרישות דיוק גבוהות, אך עלות הציוד גבוהה.
4. ציוד לשקיעת אדים כימית (CVD): יוצר שכבות דקות על פני חומר המצע באמצעות תגובה כימית. שיטה זו יכולה להכין שכבות איכותיות ורב-מיניות, אך הציוד מורכב ויקר.
5. ציוד אפיטקסיה של קרן מולקולרית (MBE): זוהי שיטה לשליטה בגדילת שכבות דקות ברמה האטומית ומשמשת בעיקר להכנת שכבות דקות במיוחד ומבנים רב-שכבתיים עבור יישומי מוליכים למחצה וננוטכנולוגיה.
6. ציוד לשקיעת אדים כימית משופרת בפלזמה (PECVD): זוהי טכניקה המשתמשת בפלזמה כדי לשפר את השקיעה של שכבות דקות באמצעות תגובה כימית, מה שמאפשר היווצרות מהירה של שכבות דקות בטמפרטורות נמוכות יותר.
7. מכשירי שיקוע לייזר פועם (PLD): אלה משתמשים בפולסי לייזר בעלי אנרגיה גבוהה כדי לפגוע במטרה, לאדות חומר מפני השטח של המטרה ולהשקיע אותו על גבי מצע, ומתאימים לגידול סרטי תחמוצת מורכבים באיכות גבוהה.
לכל אחד מהמכשירים הללו מאפיינים משלו מבחינת תכנון ותפעול והוא מתאים ליישומים תעשייתיים ותחומי מחקר שונים. עם התפתחות הטכנולוגיה, גם טכנולוגיית ציפוי ואקום מתקדמת, וגם ציוד ציפוי ואקום חדש צץ.

–מאמר זה פורסם על ידימכונת ציפוי ואקוםיצרן גואנגדונג Zhenhua