1. טכנולוגיית שיקוע בסיוע אלומת יונים מאופיינת בהידבקות חזקה בין הממברנה למצע, כאשר שכבת הממברנה חזקה מאוד. ניסויים מראים כי: הידבקות בשיקוע בסיוע אלומת יונים גדלה פי כמה וכמה עד פי מאות בהשוואה לשיקוע אדים תרמי. הסיבה לכך היא בעיקר השפעת הניקוי של הפצצת יונים על פני השטח, כך שממשק בסיס הממברנה יוצר מבנה ממשק גרדיאנטי, או שכבת מעבר היברידית, וכן מפחית את מתח הממברנה.
2. שיקוע בסיוע אלומת יונים יכול לשפר את התכונות המכניות של הסרט, להאריך את חיי העייפות, מתאים מאוד להכנת תחמוצות, קרבידים, BN קובי, TiB2 וציפויים דמויי יהלום. לדוגמה, בפלדה עמידה בחום 1Cr18Ni9Ti, שימוש בטכנולוגיית שיקוע בסיוע אלומת יונים לגידול סרט Si3N4 בעובי 200 ננומטר לא רק מעכב את הופעתם של סדקי עייפות על פני החומר, אלא גם מפחית משמעותית את קצב דיפוזיה של סדקי עייפות, ובכך מאריך את חייו תפקיד חשוב.
3. שיקוע בסיוע אלומת יונים יכול לשנות את אופי המאמץ של הסרט ולשנות את המבנה הגבישי שלו. לדוגמה, הכנת סרט Cr עם הפגזה של 11.5keV של Xe+ או Ar+ על פני המצע, מצאה כי התאמת טמפרטורת המצע, אנרגיית ההפצצה של היונים, היונים והאטומים כדי להגיע ליחס בין פרמטרים, יכולה לשנות את המאמץ ממאמץ מתיחה למאמץ דחיסה, וגם המבנה הגבישי של הסרט יגרום לשינויים. תחת יחס הגעת יונים לאטום מסוים, לשיקוע בסיוע אלומת יונים יש אוריינטציה סלקטיבית טובה יותר מאשר שכבת הממברנה המופקדת בשיקוע אדים תרמי.
4. שיקוע בסיוע אלומת יונים יכול לשפר את עמידות הקורוזיה והחמצון של הממברנה. עקב צפיפות שכבת הסרט השיקוע בסיוע אלומת יונים, מבנה ממשק בסיס הסרט משתפר או נוצר מצב אמורפי הנגרם על ידי היעלמות גבולות הגרעינים בין החלקיקים, דבר התורם לשיפור עמידות החומר בפני קורוזיה ועמידות בפני חמצון בטמפרטורה גבוהה.
5. שיקוע בסיוע קרן יונים יכול לשנות את התכונות האלקטרומגנטיות של הסרט ולשפר את ביצועי הסרטים הדקים האופטיים.
6. שיקוע בסיוע יונים מאפשר התאמה מדויקת ועצמאית של הפרמטרים הקשורים לשיקוע אטומי ולהשתלת יונים, ומאפשר יצירה רציפה של ציפויים בגודל מיקרומטרים ספורים בעלי הרכב עקבי באנרגיות הפגזה נמוכות, כך שניתן לגדל מגוון שכבות דקות בטמפרטורת החדר, תוך הימנעות מההשפעות השליליות על חומרים או חלקים מדויקים שעלולות להיגרם מטיפול בהם בטמפרטורות גבוהות.
–מאמר זה פורסם על ידייצרן מכונות ציפוי ואקוםגואנגדונג ז'נהואה
זמן פרסום: 24 בינואר 2024