לטכנולוגיית ציפוי CVD יש את המאפיינים הבאים:
1. תהליך הפעולה של ציוד CVD הוא פשוט וגמיש יחסית, והוא יכול להכין סרטים בודדים או מרוכבים וסרטי סגסוגת בפרופורציות שונות;
2. לציפוי CVD מגוון רחב של יישומים, וניתן להשתמש בו להכנת ציפויי מתכת או סרט מתכת שונים;
3. יעילות ייצור גבוהה עקב קצבי שיקוע הנעים בין כמה מיקרונים למאות מיקרונים לדקה;
4. בהשוואה לשיטת PVD, ל-CVD ביצועי דיפרקציה טובים יותר והוא מתאים מאוד לציפוי מצעים בעלי צורות מורכבות, כגון חריצים, חורים מצופים ואפילו מבני חורים עיוורים. ניתן לצבוע את הציפוי לסרט בעל דחיסות טובה. בשל הטמפרטורה הגבוהה במהלך תהליך יצירת הסרט, וההידבקות החזקה על ממשק מצע הסרט, שכבת הסרט יציבה מאוד.
5. הנזק הנגרם מקרינה הוא יחסית נמוך וניתן לשלב אותו עם תהליכי מעגל משולבים של MOS.
——מאמר זה פורסם על ידי גואנגדונג ז'נהואה,יצרן מכונות ציפוי ואקום
זמן פרסום: 29 במרץ 2023