L'ottenimento del vuoto è anche noto come "pompaggio del vuoto", termine che si riferisce all'utilizzo di diverse pompe per vuoto per rimuovere l'aria all'interno del contenitore, in modo che la pressione interna scenda al di sotto di un'atmosfera. Attualmente, per ottenere il vuoto si utilizzano dispositivi comunemente utilizzati, tra cui pompe per vuoto meccaniche a palette rotanti, pompe Roots, pompe a diffusione d'olio, pompe molecolari composite, pompe ad adsorbimento a setaccio molecolare, pompe a sublimazione di titanio, pompe ioniche a sputtering e pompe criogeniche, ecc. In queste pompe, le prime quattro sono classificate come pompe di trasferimento del gas (pompe per vuoto di trasferimento), il che significa che le molecole di gas vengono continuamente aspirate nella pompa per vuoto e scaricate nell'ambiente esterno per realizzare l'evacuazione; le ultime quattro sono classificate come pompe di cattura del gas (pompe per vuoto di cattura), che vengono condensate molecolarmente o legate chimicamente alla parete interna della camera di pompaggio per ottenere il vuoto richiesto. Le pompe di cattura del gas sono anche chiamate pompe per vuoto oil-free perché non utilizzano olio come fluido di lavoro. A differenza delle pompe di trasferimento, che rimuovono il gas in modo permanente, alcune pompe di cattura sono reversibili, consentendo di scaricare nuovamente nel sistema il gas raccolto o condensato durante il processo di riscaldamento.
Le pompe per vuoto di trasferimento si dividono in due categorie principali: volumetriche e a trasferimento di quantità di moto. Le pompe di trasferimento volumetriche includono solitamente pompe meccaniche a palette rotanti, pompe ad anello liquido, pompe alternative e pompe Roots; le pompe per vuoto a trasferimento di quantità di moto includono solitamente pompe molecolari, pompe a getto e pompe a diffusione d'olio. Le pompe per vuoto a cattura includono solitamente pompe ioniche ad adsorbimento a bassa temperatura e a sputtering.
In generale, il processo di rivestimento è diverso, il vuoto nella camera di rivestimento sotto vuoto deve raggiungere livelli diversi e, nella tecnologia del vuoto, il livello si esprime più precisamente con il vuoto di fondo (noto anche come vuoto intrinseco). Il vuoto di fondo si riferisce al vuoto nella camera di rivestimento sotto vuoto generato dalla pompa per vuoto per soddisfare le esigenze del processo di rivestimento, il cui livello di vuoto massimo dipende principalmente dalla capacità di pompaggio del vuoto. La camera di rivestimento sotto vuoto, grazie al suo sistema di vuoto, può raggiungere il vuoto massimo, chiamato vuoto limite (o pressione limite). La Tabella 1-2 elenca l'intervallo di pressione di esercizio di alcune pompe per vuoto comuni e la pressione massima ottenibile. Le parti ombreggiate della tabella rappresentano le pressioni ottenibili da ciascuna pompa per vuoto quando utilizzata in combinazione con altre apparecchiature.
–Questo articolo è pubblicato daproduttore di macchine per rivestimento sotto vuotoGuangdongZhenhua
Data di pubblicazione: 30 agosto 2024