Lofttæmishúðunartækni er tækni sem setur þunnfilmuefni á yfirborð undirlagsefna í lofttæmisumhverfi og er mikið notuð í rafeindatækni, ljósfræði, umbúðum, skreytingum og öðrum sviðum. Lofttæmishúðunarbúnaður má aðallega skipta í eftirfarandi gerðir:
1. Varmauppgufunarbúnaður: þetta er hefðbundnasta lofttæmishúðunaraðferðin, með því að hita þunnfilmuefnið í uppgufunarbátnum er efnið gufað upp og sett á yfirborð undirlagsefnisins.
2. Spúttunarbúnaður: Með því að nota orkumikla jónir sem lenda á yfirborði markefnisins eru atóm markefnisins spúttuð og sett á undirlagsefnið. Segulspúttrun getur náð jafnari og sterkari viðloðun filmunnar, sem hentar vel til fjöldaframleiðslu.
3. Búnaður til jóngeislaútfellingar: Jóngeislar eru notaðir til að setja þunnfilmuefni á undirlagið. Þessi aðferð getur fengið mjög einsleitar filmur og hentar vel fyrir tilefni þar sem mikil nákvæmni er krafist, en kostnaðurinn við búnaðinn er mikill.
4. Búnaður til efnagufuútfellingar (CVD): Myndar þunnar filmur á yfirborði undirlagsefnisins með efnahvörfum. Þessi aðferð getur búið til hágæða filmur úr mörgum tegundum, en búnaðurinn er flókinn og kostnaðarsamur.
5. Búnaður til að greina sameindageisla (MBE): Þetta er aðferð til að stjórna vexti þunnra filma á atómstigi og er aðallega notuð til að búa til ofurþunn lög og marglaga byggingar fyrir hálfleiðara- og nanótækniforrit.
6. Búnaður til að auka efnagufuútfellingu með plasma (PECVD): Þetta er tækni sem notar plasma til að auka útfellingu þunnra filma með efnahvörfum, sem gerir kleift að mynda þunnar filmur hraðar við lægra hitastig.
7. Tæki sem nota púlsað leysigeisla (PLD): Þessi tæki nota orkumikla leysigeisla til að hitta skotmark, gufa upp efni af yfirborði skotmarksins og setja það á undirlag og henta til að rækta hágæða, flóknar oxíðfilmur.
Hvert þessara tækja hefur sína eigin eiginleika í hönnun og notkun og hentar fyrir mismunandi iðnaðarnotkun og rannsóknarsvið. Með þróun tækni er lofttæmishúðunartækni einnig að þróast og nýr lofttæmishúðunarbúnaður er einnig að koma fram.
–Þessi grein er gefin út aftómarúmshúðunarvélframleiðanda Guangdong Zhenhua
Birtingartími: 12. júní 2024