CVD húðunartækni hefur eftirfarandi eiginleika:
1. Ferlið við notkun CVD búnaðar er tiltölulega einfalt og sveigjanlegt og hægt er að framleiða stakar eða samsettar filmur og málmblöndur með mismunandi hlutföllum;
2. CVD húðun hefur fjölbreytt notkunarsvið og er hægt að nota til að búa til ýmsar málm- eða málmfilmuhúðanir;
3. Mikil framleiðsluhagkvæmni vegna útfellingarhraða frá nokkrum míkronum upp í hundruð míkrona á mínútu;
4. Í samanburði við PVD aðferðina hefur CVD betri dreifingargetu og er mjög hentug til að húða undirlag með flóknum formum, svo sem rásum, húðuðum götum og jafnvel blindholum. Húðunin er hægt að húða í filmu með góðri þéttleika. Vegna mikils hitastigs við myndun filmunnar og sterkrar viðloðunar á yfirborði filmuundirlagsins er filmulagið mjög fast.
5. Tjón af völdum geislunar er tiltölulega lítið og hægt er að samþætta það við MOS samþætt hringrásarferli.
—— Þessi grein er gefin út af Guangdong Zhenhua, aframleiðandi tómarúmhúðunarvéla
Birtingartími: 29. mars 2023