Sifat mekanis lapisan membran dipengaruhi oleh adhesi, tegangan, kerapatan agregasi, dll. Dari hubungan antara bahan lapisan membran dan faktor proses, dapat dilihat bahwa jika kita ingin meningkatkan kekuatan mekanis lapisan membran, kita harus fokus pada parameter proses berikut:
(1) Tingkat vakum. Vakum sangat jelas mempengaruhi kinerja film. Sebagian besar indikator kinerja lapisan film sangat bergantung pada tingkat vakum. Biasanya, ketika tingkat vakum meningkat, kerapatan agregasi film meningkat, kekencangan meningkat, struktur film membaik, komposisi kimia menjadi murni, tetapi pada saat yang sama tekanan juga meningkat.
(2) Laju pengendapan. Meningkatkan laju pengendapan tidak hanya dapat digunakan untuk meningkatkan laju penguapan, yaitu, meningkatkan pendekatan suhu sumber penguapan, juga dapat digunakan untuk meningkatkan pendekatan area sumber penguapan untuk mencapainya, tetapi penggunaan sumber penguapan untuk meningkatkan pendekatan suhu memiliki kekurangannya: membuat tegangan lapisan membran terlalu besar; gas pembentuk film mudah terurai. Jadi terkadang meningkatkan area sumber penguapan daripada meningkatkan suhu sumber penguapan lebih menguntungkan.
(3) suhu substrat. Peningkatan suhu substrat akan membantu adsorpsi molekul gas yang tersisa pada permukaan substrat untuk dikeluarkan, meningkatkan gaya pengikatan substrat dan molekul yang diendapkan: pada saat yang sama akan meningkatkan konversi adsorpsi fisik menjadi adsorpsi kimia, meningkatkan interaksi antar molekul, sehingga struktur lapisan membran menjadi rapat. Misalnya, Mg, membran, pemanasan substrat hingga 250 ~ 300 ℃ dapat mengurangi tekanan internal, meningkatkan kepadatan agregasi, meningkatkan kekerasan lapisan membran: pemanasan substrat hingga 120 ~ 150 ℃ menyiapkan Zr03-Si02, membran multilapis, kekuatan mekanisnya meningkat pesat, tetapi suhu substrat yang terlalu tinggi akan menyebabkan kerusakan lapisan membran.
(4) Pengeboman ion. Pengeboman ion memiliki efek pada pembentukan permukaan yang sangat kohesif, kekasaran permukaan, oksidasi dan kepadatan agregasi. Pengeboman sebelum pelapisan dapat membersihkan permukaan dan meningkatkan daya rekat; pengeboman setelah pelapisan dapat meningkatkan kepadatan agregasi lapisan film, dll., sehingga meningkatkan kekuatan dan kekerasan mekanis.
(5) Pembersihan substrat. Metode pembersihan substrat tidak tepat atau tidak bersih, kotoran sisa atau bahan pembersih masih ada di substrat, kemudian menyebabkan polusi baru, kondisi kohesi dan adhesi lapisan berbeda, mempengaruhi sifat struktural dan ketebalan optik lapisan pertama, tetapi juga membuat lapisan film mudah lepas dari substrat, sehingga mengubah karakteristik lapisan film.
–Artikel ini dirilis olehprodusen mesin pelapis vakumGuangdong Zhenhua
Waktu posting: 04-Mei-2024