Մեմբրանային շերտի մեխանիկական հատկությունների վրա ազդում են կպչունությունը, լարվածությունը, ագրեգացման խտությունը և այլն: Մեմբրանային շերտի նյութի և գործընթացային գործոնների միջև եղած կապից կարելի է տեսնել, որ եթե մենք ցանկանում ենք բարելավել մեմբրանի շերտի մեխանիկական ամրությունը, ապա պետք է կենտրոնանանք հետևյալ գործընթացային պարամետրերի վրա.
(1) վակուումի մակարդակ։ Վակուումի ազդեցությունը թաղանթի աշխատանքի վրա շատ ակնհայտ է։ Թաղանթի շերտի աշխատանքի ցուցանիշների մեծ մասը շատ կախված է վակուումի մակարդակից։ Սովորաբար, վակուումի աստիճանի մեծացմանը զուգընթաց, թաղանթի ագրեգացման խտությունը մեծանում է, կարծրությունը մեծանում է, թաղանթի կառուցվածքը բարելավվում է, քիմիական կազմը դառնում է մաքուր, բայց միևնույն ժամանակ լարումը նույնպես մեծանում է։
(2) Նստեցման արագություն։ Նստեցման արագության բարելավումը կարող է օգտագործվել ոչ միայն գոլորշիացման արագությունը բարելավելու, այսինքն՝ գոլորշիացման աղբյուրի ջերմաստիճանը բարձրացնելու մոտեցման միջոցով, այլև կարող է օգտագործվել գոլորշիացման աղբյուրի մակերեսը մեծացնելու համար, սակայն գոլորշիացման աղբյուրի օգտագործումը ջերմաստիճանը բարձրացնելու համար ունի իր թերությունները. թաղանթային շերտի լարվածությունը չափազանց մեծ է, թաղանթ առաջացնող գազը հեշտ է քայքայվում։ Հետևաբար, երբեմն գոլորշիացման աղբյուրի մակերեսը մեծացնելը գոլորշիացման աղբյուրի ջերմաստիճանը բարելավելուց ավելի շահավետ է։
(3) հիմքի ջերմաստիճան։ Հիմքի ջերմաստիճանի բարձրացումը նպաստում է մնացած գազային մոլեկուլների ադսորբցիային հիմքի մակերեսին, բացառում է հիմքի և նստեցված մոլեկուլների միջև կապող ուժը։ Միաժամանակ կնպաստի ֆիզիկական ադսորբցիայի քիմիական ադսորբցիայի փոխակերպմանը, կուժեղացնի մոլեկուլների միջև փոխազդեցությունը, որպեսզի թաղանթային շերտի կառուցվածքը լինի ամուր։ Օրինակ՝ Mg թաղանթը մինչև 250 ~ 300 ℃ տաքացնելը կարող է նվազեցնել ներքին լարվածությունը, բարելավել ագրեգացման խտությունը, մեծացնել թաղանթային շերտի կարծրությունը։ Հիմքի մինչև 120 ~ 150 ℃ տաքացնելը պատրաստում է Zr03-Si02 բազմաշերտ թաղանթ, որի մեխանիկական ամրությունը զգալիորեն կբարձրանա, սակայն հիմքի չափազանց բարձր ջերմաստիճանը կհանգեցնի թաղանթային շերտի քայքայմանը։
(4) Իոնային ռմբակոծություն։ Իոնային ռմբակոծությունը ազդում է բարձր կպչունության մակերեսների ձևավորման, մակերեսային կոպտության, օքսիդացման և ագրեգացման խտության վրա։ Ծածկույթից առաջ ռմբակոծությունը կարող է մաքրել մակերեսը և մեծացնել կպչունությունը, ծածկույթից հետո ռմբակոծությունը կարող է բարելավել թաղանթի շերտի ագրեգացման խտությունը և այլն, այդպիսով մեծացնելով մեխանիկական ամրությունն ու կարծրությունը։
(5) Հիմքի մաքրում։ Հիմքի մաքրման մեթոդը անհամապատասխան է կամ մաքուր չէ, հիմքում մնացորդային խառնուրդները կամ մաքրող միջոցը առաջացնում են նոր աղտոտում, ծածկույթում առաջանում են տարբեր կպչունության պայմաններ և կպչունություն, ինչը ազդում է առաջին շերտի կառուցվածքային հատկությունների և օպտիկական հաստության վրա, բայց նաև հեշտացնում է թաղանթի շերտի անջատումը հիմքից, այդպիսով փոխելով թաղանթի շերտի բնութագրերը։
- Այս հոդվածը հրապարակվել էվակուումային ծածկույթների մեքենայի արտադրողԳուանդուն Չժենհուա
Հրապարակման ժամանակը. Մայիս-04-2024